NPM维护保养说明 - 第212页
NPM-D 维修篇 4.11 基板支撑块 ( 自动更换用 ) ( 选购件 ) 的清扫 Page 4-48 EJM1DC-MB-04M-00 17 按 + [ 更换完毕 ] 。 18 按 + [ 执行 ] 。 • 基板支撑块 ( 自动更换用 ) 将会下降到原点。 ChangePinUnitC hange-29C00 18 ChangePinUnitC hange-28C00 17
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维修篇
4.11
基板支撑块
(
自动更换用
) (
选购件
)
的清扫
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将基板支撑块
(
自动更换用
)
设置到原来
的位置上。
∗
在设置之际，请注意不要产生倾斜。
∗
在设置之际，请小心不要让支撑销碰触到轨道
等部位。
∗
在设置好基板支撑块后，请尝试向弹簧侧按压
支撑销，并以目视确认支撑销已被按压到弹簧
销上。
13
取下在步骤
9.
所覆盖到线性照相机上
的棉纱布。
14
关闭安全盖。
15
将伺服开关置于
ON
。
16
安装供料器工作台盖、交换台车。
弹簧销
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4.11
基板支撑块
(
自动更换用
) (
选购件
)
的清扫
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17
按
+ [
更换完毕
]
。
18
按
+ [
执行
]
。
•
基板支撑块
(
自动更换用
)
将会下降到原点。
ChangePinUnitChange-29C00
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5. 560
小时检查一次
[
每月一次
]
在本章中，对每
560
小时需检查一次
(
每月一次
)
的项目进行说明。