NPM维护保养说明 - 第214页
NPM-D 维修篇 5.1 对基板传送带供给润滑脂 Page 5-2 EJM1DC-MB-05M-00 5.1 对基板传送带供给润滑脂 使用工具 ― 需要时间 [min] 20 要求 该维护作业,应在主电源开关处于 ON 的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业 时,请务必使伺服开关处于 OFF ,并打开安全盖。 ( 打开安全盖可以切断向 XY 电机的 供电。 ) 请按照如下顺序在基板传送带的宽度 调整滚珠丝杠、线性导轨、 滚珠花键上涂…

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5. 560
小时检查一次
[
每月一次
]
在本章中,对每
560
小时需检查一次
(
每月一次
)
的项目进行说明。

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5.1
对基板传送带供给润滑脂
Page 5-2 EJM1DC-MB-05M-00
5.1
对基板传送带供给润滑脂
使用工具
―
需要时间
[min]
20
要求
该维护作业,应在主电源开关处于
ON
的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业
时,请务必使伺服开关处于
OFF
,并打开安全盖。
(
打开安全盖可以切断向
XY
电机的
供电。
)
请按照如下顺序在基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨、滚珠花键上涂敷润滑脂。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
∗ 本作业请在双轨模式下进行。
(
“10.4
双式传送带切换为单轨模式
”)
使传送带移动到维护位置。
1
使
<
维护
>
画面显示出来。
2
选择
。
3
按操作面板的
[
维护位置
]
。
∗
请确认在基板支撑块上不存在支撑销。
4
按操作面板的
+
[
执行
]
。
5
卸下交换台车。
MainteConveyorMoving-01C03
2
3
MainteConveyorMoving-0202
4

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对基板传送带供给润滑脂
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6
将伺服开关置于
OFF
。
7
打开安全盖。
8
卸下供料器工作台盖。
供给润滑脂。
9
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠
、
线性导轨
、滚珠花键
上供给润滑脂。
使用润滑脂
: LCG100
请用润滑脂枪从润滑脂注入口
(
轨道
1
、
2
的可动侧轨道
)
供给润滑脂。
压出
1
次
(
约
0.9 cm
3
)
请在线性导轨的两侧涂上薄薄的润滑脂。
请向滚珠花键涂敷一层薄的润滑脂。
轨道
1
左侧
轨道
1
右侧
轨道
2
右侧
轨道
2
左侧
宽度调整滚珠丝杠
(
润滑脂注入口
)
滚珠花键
宽度调整滚珠丝杠
(
润滑脂注入口
)
宽度调整滚珠丝杠
(
润滑脂注入口
)
线性导轨
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
(
润滑脂注入口
)
线性导轨