NPM维护保养说明 - 第251页
NPM-D 维修篇 5.9 大型反射板的清扫 (2 吸嘴吸头 ( 选购件 )) EJM1DC-MB-05M -00 Page 5-39 10 关闭安全盖，将伺服开关置于 ON 。 11 按操作面板的 + [ 原点复归 ] 。 MainteHeadMov ing-03C02 11
NPM-D
维修篇
5.9
大型反射板的清扫
(2
吸嘴吸头
(
选购件
))
Page 5-38 EJM1DC-MB-05M-00
7
将吸嘴从各移载吸头上卸下。
∗
吸嘴的拆卸方法
(
“4.3
移载吸头的清扫
(2
吸嘴吸头
(
选
购件
)) 1.
吸嘴
(
选购件
)
的拆卸
”)
8
用干净的棉纱布擦拭大型反射板。
9
安装吸嘴。
∗
吸嘴的安装方法
(
“4.3
移载吸头的清扫
(2
吸嘴吸头
(
选
购件
)) 5.
吸嘴
(
选购件
)
的安装
”)
4Z4C-451P
4Z4C-454P
大型反射板
4Z4C-451P
NPM-D
维修篇
5.9
大型反射板的清扫
(2
吸嘴吸头
(
选购件
))
EJM1DC-MB-05M-00 Page 5-39
10
关闭安全盖，将伺服开关置于
ON
。
11
按操作面板的
+
[
原点复归
]
。
MainteHeadMoving-03C02
11
NPM-D
维修篇
5.10
真空泵过滤器的清扫
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5.10
真空泵过滤器的清扫
使用工具
―
需要时间
[min]
10
要求
盖的重量约为
4 kg
。在安装作业的拆卸之际，请务必万分小心。
∗
作业过程中注意别碰着头。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1
将主电源置于
OFF
。
•
将主电源开关置于
OFF
后，空气供给也会因联
动而停止。
∗
请对主电源开关加锁。
2
打开本机后面的盖。
3
从拆卸来的盖上拆卸过滤器。
∗
请使用气枪清除过滤器的污垢。
∗
请勿使用有机溶剂。
4
在盖上安装过滤器。
盖
过滤器
盖