NPM维护保养说明 - 第253页
NPM-D 维修篇 5.10 真空泵过滤器的清扫 EJM1DC-MB-05M -00 Page 5-41 5 拆卸过滤器装置，取出过滤器的构件。 6 使用气枪，清除过滤器构件上的污垢。 ∗ 禁止使用有机溶剂。 7 将过滤器装置按原样组装好。 8 安装本机后面的盖。 4Z4C-457P 4Z4C-456P 过滤器的构件 O 型环 吸头 O 型环 过滤器套 圆环 过滤器装置 盖
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维修篇
5.10
真空泵过滤器的清扫
Page 5-40 EJM1DC-MB-05M-00
5.10
真空泵过滤器的清扫
使用工具
―
需要时间
[min]
10
要求
盖的重量约为
4 kg
。在安装作业的拆卸之际，请务必万分小心。
∗
作业过程中注意别碰着头。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1
将主电源置于
OFF
。
•
将主电源开关置于
OFF
后，空气供给也会因联
动而停止。
∗
请对主电源开关加锁。
2
打开本机后面的盖。
3
从拆卸来的盖上拆卸过滤器。
∗
请使用气枪清除过滤器的污垢。
∗
请勿使用有机溶剂。
4
在盖上安装过滤器。
盖
过滤器
盖
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维修篇
5.10
真空泵过滤器的清扫
EJM1DC-MB-05M-00 Page 5-41
5
拆卸过滤器装置，取出过滤器的构件。
6
使用气枪，清除过滤器构件上的污垢。
∗
禁止使用有机溶剂。
7
将过滤器装置按原样组装好。
8
安装本机后面的盖。
4Z4C-457P
4Z4C-456P
过滤器的构件
O
型环
吸头
O
型环
过滤器套
圆环
过滤器装置
盖
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5.11
盖的安全开关检查
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5.11
盖的安全开关检查
使用工具
―
需要时间
[min]
5
∗
如下记载了安全开关的检查方法。步骤
1. ~ 4.
的操作请从本机的前方开始，步骤
5.
的操作请从本
机的后方开始。
1
按
<
主菜单
>
画面的
。
•
机器调整的菜单画面将被显示。
2
按
[
输入确认
]
。
•
<
输入确认
>
画面将被显示。
3
按一次
按钮。
4
打开前面的盖，确认
‘
安全盖
1’
、
‘
安全
盖
3’
的显示是否从蓝色变灰色。
5
打开后面的盖，确认
‘
安全盖
2’
、
‘
安全
盖
4’
的显示是否从蓝色变灰色。
DualUnitAdjustInputCheck-01C50
2
1
3
DualUnitAdjustInputCheck-02C50
4
5