NPM维护保养说明 - 第270页
NPM-D 维修篇 5.21 高度传感器的清扫 ( 选购件 ) Page 5-58 EJM1DC-MB-05M-00 5.21 高度传感器的清扫 ( 选购件 ) 使用工具 棉纱布等 需要时间 [min] 3 投光部、 受光部的玻璃上附着灰尘等脏物 ， 是导致基板高度计测失误的主要原 因。 因此请定期清扫 玻璃。 ∗ 在进行维护作业前，需要先取下供料 器工作台盖和交换台车 ( 选购件 ) 。 ( “2.2 交换台车 ( 选购件 ) 的拆卸…
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维修篇
5.20
出气口
(
调节器装置
)
的检查
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出气口内积有水时
4
卸下气管。
5
把接水的瓶子放在出气口的阀门下面，
按下出气口阀门的按钮，将其中的水排
出到瓶子里。
6
用棉纱布等擦去剩余的水滴，装上气
管。
7
关上本机后面侧的右下的盖。
∗
请用六角扳手拧紧螺栓。
8
确认序列号。
∗
请确认画面上显示的序列号和贴在盖上的产品
铭板序列号是否一致。
(
“
安装篇
1.2.9
序列号的确认
”)
接水的瓶子
出气口阀门
出气口阀门的按钮
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维修篇
5.21
高度传感器的清扫
(
选购件
)
Page 5-58 EJM1DC-MB-05M-00
5.21
高度传感器的清扫
(
选购件
)
使用工具
棉纱布等
需要时间
[min]
3
投光部、受光部的玻璃上附着灰尘等脏物，是导致基板高度计测失误的主要原因。因此请定期清扫
玻璃。
∗ 在进行维护作业前，需要先取下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
1
将主电源开关置于
OFF
。
2
打开安全盖。
3
用棉纱布擦拭高度传感器的投光部、受
光部。
∗
请按照长边方向擦拭各个玻璃。
∗
在清扫玻璃时，请使用柔软的棉纱布。同时，
要小心不要划伤玻璃表面。如果划伤了玻璃，
将有可能会导致不能正确计测基板高度。
4
关闭安全盖。
5
将主电源开关置于
ON
。
投、受光部玻璃
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维修篇
5.22
点胶头的供给润滑脂
(
选购件
)
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5.22
点胶头的供给润滑脂
(
选购件
)
使用工具
润滑脂枪、棉纱布、手套
需要时间
[min]
30
在此说明给点胶头的滾珠丝杆、线性导轨涂敷润滑脂的方法。
要求
该维护作业，应在主电源开关处于
ON
的状态下进行。在吸头的动作范围内进行作业
时，请务必使伺服开关处于
OFF
，并打开安全盖。
(
打开安全盖可以切断向
XY
电机的
供电。
)
要求
涂敷润滑脂时，请带上手套。
如果手上粘上了润滑脂，应立即按照附录
1
的
“
产品安全数据表
”
立即进行处置。
通知
在进行此作业前，请务必阅读
“
关于直线马达的使用
”
。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
这项作业需要事先拆卸下
注射器部分。
(
“3.6
螺旋装置和吸嘴的清扫、点检
(
点胶头
(
选购件
))” )