NPM维护保养说明 - 第328页
NPM-D 维修篇 9.3 面补正 XY Page 9-10 EJM1DC-MB-09M-00 6 按 + [ 确认 ] 。 • 吸头将会移动到退避位置。 7 将伺服开关置于 OFF 。 8 打开安全盖。 9 轨道 1 、轨 道 2 都将前面轨道上面的基 准标记对准面补正量具的右端。 ∗ ( 左 Æ 右流动、右 Æ 左流动都同样。 ) 10 关闭安全盖。 11 将伺服开关置于 ON 。 基准标记 UnitCalibAxisSurfa c…
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维修篇
9.3
面补正
XY
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9.3
面补正
XY
本操作是全部吸头共通的操作。
面补正量具需要通过手动作业来设置，因此请使用面补正量具来调整前工序及后工序的搬送传送带的宽度。
进行校准之前，请将支撑销全部取下。
1
在前工序的轨道
1
和轨道
2
上设置面补
正量具。
2
按
。
3
按
[
面补正
XY]
。
∗
请确认本机内没有基板。
4
按
+ [
量具搬入
]
。
•
当本机内有基板时，将显示错误。
∗
取出本机内的基板后，请再次进行
[
量具搬入
]
的操作。
∗
请确认在基板支撑块上不存在支撑销。
5
按
+ [
执行
]
。
•
本机将会进行传送带宽度的自动调整，请搬入
面补正量具。
UnitCalibAxisSurface-01C02
2
3
4
UnitCalibAxisSurface-02C02
5
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维修篇
9.3
面补正
XY
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6
按
+ [
确认
]
。
•
吸头将会移动到退避位置。
7
将伺服开关置于
OFF
。
8
打开安全盖。
9
轨道
1
、轨 道
2
都将前面轨道上面的基
准标记对准面补正量具的右端。
∗
(
左
Æ
右流动、右
Æ
左流动都同样。
)
10
关闭安全盖。
11
将伺服开关置于
ON
。
基准标记
UnitCalibAxisSurface-03C02
6
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9.3
面补正
XY
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12
按
[
确认
]
。
13
按
+ [
面补正
XY]
。
•
将会进行前侧的校准，然后继续进行后侧的校
准。
14
确认是否已正常结束。
UnitCalibAxisSurface-04C02
12
UnitCalibAxisSurface-05C02
13
UnitCalibAxisSurface-06C02
14