NPM维护保养说明 - 第471页
NPM-D 维修篇 10.4 双式传送带切换为单轨模式 EJM1DC-MB-10M -00 Page 10-19 切换确认 ① 基板检测传感器 遥控示教、 W 轴原点复归 1 按 。 2 按 。 3 按 [ 轨道切换 ] 。 ∗ 请确认轨道状态为“单模式”。 4 按 + [ 基板检出传感器远程示 教 ] 。 5 按 [ 确认 ] 。 UnitAdjustConv eyorLaneChang e-01C50 4 5 UnitAdjus…
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维修篇
10.4
双式传送带切换为单轨模式
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20
按
。
•
回到轨道切换的画面。
21
按
+ [
轨道切换
]
。
•
传送带模式将会切换。
22
将主电源开关置于
OFF
。
DualChangePinUnitChange-10C50
20
DualUnitAdjustConveyorLaneChange-01C50
21
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10.4
双式传送带切换为单轨模式
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切换确认
① 基板检测传感器
遥控示教、
W
轴原点复归
1
按
。
2
按
。
3
按
[
轨道切换
]
。
∗
请确认轨道状态为“单模式”。
4
按
+ [
基板检出传感器远程示
教
]
。
5
按
[
确认
]
。
UnitAdjustConveyorLaneChange-01C50
4
5
UnitAdjustConveyorLaneChange-01C50
2
1
3
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10.4
双式传送带切换为单轨模式
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6
按
+ [W
轴原点复归
]
。
7
按
[
确认
]
。
UnitAdjustConveyorLaneChange-01C50
6
7