NPM维护保养说明 - 第479页
NPM-D 维修篇 11.1 基板搬送皮带的更换 EJM1DC-MB-11M -00 Page 11-3 3 拉拽皮带将其拆下。 4 换上新皮带。 ∗ 请参照左图，将皮带安装到各皮带轮 上。 上图的号码 皮带长度 [mm] c 1980 5 固定板。 ∗ 用六角扳手拧紧螺栓， 将板 固定到原来的位置。 c 轨道 1 c 轨道 2 板
NPM-D
维修篇
11.1
基板搬送皮带的更换
Page 11-2 EJM1DC-MB-11M-00
11.1
基板搬送皮带的更换
在定期检查中出现异常时，请按照以下顺序交换基板搬送带。
∗ 维护作业时有必要卸下供料器工作台盖和交换台车
(
选购件
)
。
(
“2.2
交换台车
(
选购件
)
的拆卸和安装、
2.3
供料器工作台盖的拆卸和安装
”)
∗ 设备的规格为托盘供料器规格的情况下，在维修作业时需要卸下托盘供料器
(
选项
)
。
(
“
安装篇
1.5
连接托盘供料器
”)
∗ 本作业请在双轨模式下进行。
(
“10.4
双式传送带切换为单轨模式
”)
1.
基板搬送皮带的更换
1
将电源开关置于
OFF
。
2
松开板的螺栓挪动板。
∗
使用六角扳手，松开板上的螺栓，挪动板。
∗
请不要拆下板。
螺栓
板
NPM-D
维修篇
11.1
基板搬送皮带的更换
EJM1DC-MB-11M-00 Page 11-3
3
拉拽皮带将其拆下。
4
换上新皮带。
∗
请参照左图，将皮带安装到各皮带轮上。
上图的号码 皮带长度[mm]
c
1980
5
固定板。
∗
用六角扳手拧紧螺栓，将板固定到原来的位置。
c
轨道
1
c
轨道
2
板
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维修篇
11.1
基板搬送皮带的更换
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59
T
P
轨道
1
59
P
T
轨道
2
2.
皮带张力的调整
请用手指弹跨距的中间部位
(
下图
P
部
)
，并使用皮带张力器
(
频率测量器
)
确认固有振动数是否为
规格值。
请在频率测量器上输入下述参数。
皮带单位质量
:
0.7
g
/m
皮带宽度
: 4.5 mm
跨距长度
:
参照下图
如果超过规格值的范围，请用张力皮带轮
(
下图
T)
进行调整。
单位
(mm)
频率规格值
机种
轨道
1
、
2
NPM-D
755 Hz
±
10Hz
6
将电源开关置于
ON
。