NPM维护保养说明 - 第482页

NPM-D 维修篇 11.2 NPM-D 传送带 ( 选购件 ) 的基板搬送皮带的更换 Page 11-6 EJM1DC-MB-11M -00 2. 皮带张力的调整 请用手指弹跨距的中间部位 ( 下图 P 部 ) ， 并使用皮带张力器 ( 频率测量器 ) 确认固有振动数是否为 规格值。 请在频率测量器上输入下述参数。 皮带单位质量 : 0.7 g /m 皮带宽度 : 4.5 mm 跨距长度 : 参照下图 如果超过规格值的范围，请用张力皮…

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传送带
(
选购件
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的基板搬送皮带的更换
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传送带
(
选购件
)
的基板搬送皮带的更换
如果在定期检查时发现异常，请按以下步骤更换基板搬送皮带。
∗ 本作业请在双轨模式下进行。
(
“10.4
双式传送带切换为单轨模式
”)
1.
基板搬送皮带的更换
1
将电源开关置于
OFF
。
2
拉拽皮带将其拆下。
3
换上新皮带。
∗
请参照左图，将皮带安装到各皮带轮上。
上图的号码 皮带长度[mm]
c
1174.5
轨道
2:
固定侧、可动侧
c
轨道
1:
固定侧、可动侧
c
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传送带
(
选购件
)
的基板搬送皮带的更换
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2.
皮带张力的调整
请用手指弹跨距的中间部位
(
下图
P
部
)
，并使用皮带张力器
(
频率测量器
)
确认固有振动数是否为
规格值。
请在频率测量器上输入下述参数。
皮带单位质量
:
0.7
g
/m
皮带宽度
: 4.5 mm
跨距长度
:
参照下图
如果超过规格值的范围，请用张力皮带轮
(
下图
T)
进行调整。
(
单位
: mm)
频率规格值
机种
固定侧、可动侧共同
NPM-D
传送带
695 Hz
±
10 Hz
轨道
2:
固定侧、可动侧
64
P
T
轨道
1:
固定侧、可动侧
T
64
P
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传送带
(
选购件
)
的基板搬送皮带的更换
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4
将电源开关置于
ON
。