NPM维护保养说明 - 第90页
NPM-D 维修篇 1.5 各装置的定期检查项目 Page 1-16 EJM1DC-MB-01M-00 < 各类型通用 > No. 装置名称 部位 电源 内容 所需时间 [min] 周期 [h] 参照 8 线性照相机 玻璃罩 OFF 清扫 1 140 4.4 9 主控制器 过滤器 OFF 清扫 10 3000 6.1 10 垂直线性照相机 ( 选购件 ) 投、受光部的玻璃 OFF 清扫 1 140 4.8 11 高度传感器 …
NPM-D
维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
EJM1DC-MB-01M-00 Page 1-15
1.5
各装置的定期检查项目
在此将维护项目按装置进行分类，记载到一览表中。
可在检索时使用。
1.5.1
各装置的维护项目一览表
<
各类型通用
>
No.
装置名称
部位
电源
内容
所需时间
[min]
周期
[h]
参照
调节器装置
(
圧力表
)
ON
确认空气压力
1 24
3.1
真空泵供给压力
(
压力表
)
ON
确认空气压力
1 24
3.1
真空解除压力
(
压力表
)
ON
确认空气压力
1 24
3.1
清扫吹气压力
(
压力表
)
ON
确认空气压力
1 24
3.1
线性照相机空气压力
(
压力表
)
ON
确认空气压力
1 24 3.1
元件排出箱
OFF
清扫
3 24
3.2
真空泵过滤器
OFF
清扫
10 560
5.10
1
主体部
出气口
(
调节器装置
)
OFF
检查
10 560 5.20
X
、
Y
轴线性导轨
ON
注油
20 560 5.3
Y
轴滑动板
ON
注油
5 6000
7.1
2
XY
装置
电缆支架
OFF
检查
5 18000 8.3
空编带箱内部
OFF
清扫
3 24
3.3
3
交换台车
(
选购件
)
供料器安装面
−
清扫
1 140
4.6
宽度调整滚珠丝杠
OFF
注油
−
560
5.1
宽度调整线性导轨
OFF
涂敷润滑脂 －
560
5.1
滚珠花键
OFF
涂敷润滑脂 －
560
5.1
基板搬送皮带
OFF
检查
5 560
5.7
4
基板传送带
基板检测传感器
OFF
清扫
5 560
5.12
宽度调整滚珠丝杠
OFF
注油 －
560
5.2
宽度调整线性导轨
OFF
涂敷润滑脂 －
560
5.2
宽度调整线性轴
OFF
涂敷润滑脂 －
560
5.2
滚珠花键
OFF
涂敷润滑脂 －
560
5.2
基板搬送皮带
OFF
检查
2 560
5.8
5
NPM-D
传送带
基板检测传感器
OFF
清扫
2 560
5.13
安全开关
ON
检查
5 560
5.11
6
盖
安全盖
OFF
清扫
5 560 5.19
彩色接触面板面
OFF
清扫
1 140
4.1
背光灯
ON
检查
1 6000
7.2
7
彩色接触面板
铰链部
ON
涂敷润滑脂
1 6000 7.3
∗
所需时间栏中记载
‘
−
’
的项目，已经与其它项目合并设定所需时间。请参照
“1.3
各周期的定期检查
项目
”
。
NPM-D
维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
Page 1-16 EJM1DC-MB-01M-00
<
各类型通用
>
No.
装置名称
部位
电源
内容
所需时间
[min]
周期
[h]
参照
8
线性照相机
玻璃罩
OFF
清扫
1 140 4.4
9
主控制器
过滤器
OFF
清扫
10 3000 6.1
10
垂直线性照相机
(
选购件
)
投、受光部的玻璃
OFF
清扫
1 140 4.8
11
高度传感器
(
选购件
)
投、受光部的玻璃
OFF
清扫
3 560 5.21
∗
所需时间栏中记载
‘
−
’
的项目，已经与其它项目合并设定所需时间。请参照
“1.3
各周期的定期检查
项目
”
。
<16
吸嘴吸头
(
选购件
)
、
12
吸嘴吸头
(
选购件
)
、
8
吸嘴吸头
(
选购件
)>
No.
装置名称
部位
电源
内容
所需时间
[min]
周期
[h]
参照
真空空气路径
OFF
检查
5 560 5.14
1
移载吸头
θ
轴皮带
OFF
检查
5 560 5.15
吸嘴缓冲弹簧
OFF
清扫 －
140 4.2
吸嘴缓冲弹簧
OFF
检查 －
18000 8.1
夹具爪压紧弹簧
OFF
清扫 －
140 4.2
夹具爪压紧弹簧
OFF
涂敷润滑脂
20 560 5.4
夹具爪压紧弹簧
OFF
检查 －
18000 8.1
夹具爪
OFF
清扫 －
140 4.2
夹具爪
OFF
涂敷润滑脂
－
140 4.2
夹具爪
OFF
检查 －
18000 8.1
内外周边部位
OFF
清扫 －
140 4.2
过滤器
OFF
清扫 －
140 4.2
锥形面
OFF
清扫 －
140 4.2
吸嘴座轴
OFF
清扫 －
140 4.2
拼接轴滑动面
OFF
清扫 －
140 4.2
吸嘴座滑动面
OFF
清扫 －
140 4.2
2
吸嘴座
吸嘴座滑动面
OFF
涂敷润滑脂
－
140 4.2
吸嘴锥形面
OFF
清扫 －
560 5.5
吸嘴反射板
OFF
清扫 －
560 5.5
吸嘴尖端部
OFF
清扫 －
560 5.5
吸嘴内部
OFF
清扫 －
560 5.5
3
吸嘴
(
选购件
)
吸嘴凸缘上面
(2D
代码部
)
OFF
清扫
－
560 5.5
4
吸嘴交换器
吸嘴反射板接触面
OFF
清扫
5 560 5.5
∗
所需时间栏中记载
‘
−
’
的项目，已经与其它项目合并设定所需时间。请参照
“1.3
各周期的定期检查
项目
”
。
NPM-D
维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
EJM1DC-MB-01M-00 Page 1-17
<2
吸嘴吸头
(
选购件
)>
No.
装置名称
部位
电源
内容
所需时间
[min]
周期
[h]
参照
过滤器
OFF
清扫 －
140 4.3
吸嘴座锥形面
OFF
清扫 －
140 4.3
夹具爪
OFF
涂敷润滑脂 －
140 4.3
1
移载吸头
反射板
OFF
清扫
15 560 5.9
夹具爪
OFF
检查
2
吸嘴座
夹具爪压紧弹簧
OFF
检查
10 18000 8.2
吸嘴反射板
OFF
清扫 －
560 5.6
吸嘴尖端部
OFF
清扫 －
560 5.6
1006
吸嘴
OFF
检查
1 6000 7.4
3
吸嘴
(
选购件
)
吸嘴凸缘上面
(2D
代码部
)
OFF
清扫
－
560 5.6
4
吸嘴交换器
(
选购件
)
吸嘴反射板接触面
OFF
清扫
5 560 5.6
∗
所需时间栏中记载
‘
−
’
的项目，已经与其它项目合并设定所需时间。请参照
“1.3
各周期的定期检查
项目
”
。