NPM维护保养说明 - 第95页
NPM-D 维修篇 1.5 各装置的定期检查项目 EJM1DC-MB-01M -00 Page 1-21 EJM9B-AB01 3. 真空泵 ∗ 压力规定值 : − 87 kPa ~ − 100 kPa 对真空泵的皮带要以 3000 小时为目标进行定 期更换。 另外，要更换皮带时请与本公司的服 务部门联 系。 4. XY 装置 5. 彩色接触面板 安全开关 真空泵 ( 皮带 ) 彩色接触面板面 铰链部 铰链部 Y 轴滑动板 Y 轴线性导…
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维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
Page 1-20 EJM1DC-MB-01M-00
1.5.2
各装置定期检查位置
定期检查项目按装置名称分类，并配以插图。以便检索时使用。
:
检查
:
清扫
:
涂敷润滑脂
:
注油
:
更换
<
各类型通用
>
1.
各种压力表
2.
元件排出箱
EJM9B-AD01
主空气压力
(
压力表
)
EJM9B-AB01
真空泵供给压力
(
压力表
)
真空解除压力
(
压力表
)
清扫吹气压力
(
压力表
)
线性照相机空气压力
(
压力表
)
托盘
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维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
EJM1DC-MB-01M-00 Page 1-21
EJM9B-AB01
3.
真空泵
∗
压力规定值
:
−
87 kPa ~
−
100 kPa
对真空泵的皮带要以
3000
小时为目标进行定
期更换。
另外，要更换皮带时请与本公司的服务部门联
系。
4. XY
装置
5.
彩色接触面板
安全开关
真空泵
(
皮带
)
彩色接触面板面
铰链部
铰链部
Y
轴滑动板
Y
轴线性导轨
X
轴线性导轨
电缆支架
电缆支架
Y
轴滑动板
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1.5
各装置的定期检查项目
Page 1-22 EJM1DC-MB-01M-00
6.
基板传送带
∗
基板检测传感器在轨道
1
、
轨道
2
的投光侧、受光侧各
有
5
个。
基板检测传感器
线性导轨
线性导轨
基板搬送皮带
基板搬送皮带
宽度调整滚珠丝杠
宽度调整滚珠丝杠
基板检测传感器
基板搬送皮带
滚珠花键