NPM维护保养说明 - 第96页
NPM-D 维修篇 1.5 各装置的定期检查项目 Page 1-22 EJM1DC-MB-01M-00 6. 基板传送带 ∗ 基板检测传感器在轨道 1 、 轨道 2 的投光侧、受光侧各 有 5 个。 基板检测传感器 线性导轨 线性导轨 基板搬送皮带 基板搬送皮带 宽度调整滚珠丝杠 宽度调整滚珠丝杠 基板检测传感器 基板搬送皮带 滚珠花键
NPM-D
维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
EJM1DC-MB-01M-00 Page 1-21
EJM9B-AB01
3.
真空泵
∗
压力规定值
:
−
87 kPa ~
−
100 kPa
对真空泵的皮带要以
3000
小时为目标进行定
期更换。
另外，要更换皮带时请与本公司的服务部门联
系。
4. XY
装置
5.
彩色接触面板
安全开关
真空泵
(
皮带
)
彩色接触面板面
铰链部
铰链部
Y
轴滑动板
Y
轴线性导轨
X
轴线性导轨
电缆支架
电缆支架
Y
轴滑动板
NPM-D
维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
Page 1-22 EJM1DC-MB-01M-00
6.
基板传送带
∗
基板检测传感器在轨道
1
、
轨道
2
的投光侧、受光侧各
有
5
个。
基板检测传感器
线性导轨
线性导轨
基板搬送皮带
基板搬送皮带
宽度调整滚珠丝杠
宽度调整滚珠丝杠
基板检测传感器
基板搬送皮带
滚珠花键
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维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
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7. NPM-D
传送带
LNB
传送带
(NL-CON2)
、
HUB
传送带
(NH-CON2)
、传送带
L(N-CONL2)
、传送带
R(N-CONR2)
传送带
L(N-CONL)
、传送带
R(N-CONR)
基板检测传感器
宽度调整滚珠丝杠
滚珠花键
基板搬送皮带
基板搬送皮带
滚珠花键
宽度调整线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
滚珠丝杠
基板搬送皮带
基板搬送皮带
滚珠花键
宽度调整线性轴
基板检测传感器