NPM维护保养说明 - 第97页

NPM-D 维修篇 1.5 各装置的定期检查项目 EJM1DC-MB-01M -00 Page 1-23 7. NPM-D 传送带  LNB 传送带 (NL-CON2) 、 HUB 传送带 (NH-CON2) 、传送带 L(N-CONL2) 、传送带 R(N-CONR2)  传送带 L(N-CONL) 、传送带 R(N-CONR) 基板检测传感器 宽度调整滚珠丝杠 滚珠花键 基板搬送皮带 基板搬送皮带 滚珠花键 宽度调整线性导轨 宽…