NPM维护保养说明 - 第98页
NPM-D 维修篇 1.5 各装置的定期检查项目 Page 1-24 EJM1DC-MB-01M-00 8. 交换台车 ( 选购件 ) 9. 线性照相机 供料器安装面 空编带箱 玻璃罩
NPM-D
维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
EJM1DC-MB-01M-00 Page 1-23
7. NPM-D
传送带
LNB
传送带
(NL-CON2)
、
HUB
传送带
(NH-CON2)
、传送带
L(N-CONL2)
、传送带
R(N-CONR2)
传送带
L(N-CONL)
、传送带
R(N-CONR)
基板检测传感器
宽度调整滚珠丝杠
滚珠花键
基板搬送皮带
基板搬送皮带
滚珠花键
宽度调整线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
滚珠丝杠
基板搬送皮带
基板搬送皮带
滚珠花键
宽度调整线性轴
基板检测传感器
NPM-D
维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
Page 1-24 EJM1DC-MB-01M-00
8.
交换台车
(
选购件
)
9.
线性照相机
供料器安装面
空编带箱
玻璃罩
NPM-D
维修篇
1.5
各装置的定期检查项目
EJM1DC-MB-01M-00 Page 1-25
10.
垂直线性照相机
(
选购件
)
11.
高度传感器
(
选购件
)
投光部玻璃
受光部玻璃
投、受光部的玻璃