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NPM - DX EJM8D C - MB - 03O - 00 3-3-4 1 2 4 + 5 6 3 4 个别 准备 传送带宽度的 调整 操作 手册 3 - 3 - 4 7 + 7 ( 选择宽度调整的对象 基台以 及轨道 ) 对传送带宽度的 调整方法进行 说明。 ●变更为小基板 时，请卸下 基板 支撑块、支 撑销。 ●请不 要用 手转动皮带来 改变传送带的宽度。 ( 否则有可能会 导致基板检测 无法正确进行 。 ) ■调整生产数据的…
NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
3-3-3-3
个别
准备
基板支撑销的安装 2
操作手册
3-3-3
16
ACTIVATION
NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
3-3-4
1
2
4
+
5
6
3
4
个别
准备
传送带宽度的调整
操作手册
3-3-4
7
+
7
(选择宽度调整的对象基台以及轨道)
对传送带宽度的调整方法进行说明。
●变更为小基板时，请卸下基板支撑块、支撑销。
●请不要用手转动皮带来改变传送带的宽度。(否则有可能会导致基板检测无法正确进行。)
■调整生产数据的基板宽度时
(调整宽度的数值栏，显示生产数据的
基板宽度)
5
顺序
(传送轨道的宽度被调整)
■输入新的基板宽度时
(显示数字键画面)
输入基板宽度
可以轻触
按准备下一步进行操作的按钮
确认提示
(会显示下一个操作画面)
■取消时
2
5
1 3
3
NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
3-3-5-1
个别
准备
基板的传送确认
操作手册
3-3-5
以到上游工序为止的确认已经结束、上游工序中有基板为前提，对基板的传送确认方法进行说明。
●是双轨模式时，要事前选择轨道。
9 8 7
■选择了上游的基台时
■选择了下游的基台时
3
4
+
+
+
(传送到上游基台的传入位置为止)
2
+
(确认基板的有无后，使设备转为可搬送的
状态)
+
(传送到上游工作台的传入位置为止)
(传送到下游工作台的传入位置为止)
+
(传送到下游工作台的传入位置为止)
+
(传出到下一台设备)
A
基板的传送位置
显示传送带上的基板位置。
1
请选择上游的工作台
5
请选择下游工作台
2
A
6
3 4
2
A
1
5
(传送到上游工作台的传入位置为止)
7
6
8
9