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NPM - DX EJM8D C - MB - 03O - 00 3-3-5 -1 个别 准备 基板 的传送确认 操作 手册 3 - 3 - 5 以到上游工序为 止的确认已经 结束、上游工 序中有基板为前提， 对基板的传送 确认方法进行 说明。 ●是双轨模式时 ，要 事前 选择轨道。 9 8 7 ■选择了上游的 基台时 ■选择了下游的 基台时 3 4 + + + ( 传送到上游基台的传 入位置 为止 ) 2 + ( 确认基板的有无后， …

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NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
3-3-4
1
2
4
+
5
6
3
4
个别
准备
传送带宽度的调整
操作手册
3-3-4
7
+
7
(选择宽度调整的对象基台以及轨道)
对传送带宽度的调整方法进行说明。
●变更为小基板时，请卸下基板支撑块、支撑销。
●请不要用手转动皮带来改变传送带的宽度。(否则有可能会导致基板检测无法正确进行。)
■调整生产数据的基板宽度时
(调整宽度的数值栏，显示生产数据的
基板宽度)
5
顺序
(传送轨道的宽度被调整)
■输入新的基板宽度时
(显示数字键画面)
输入基板宽度
可以轻触
按准备下一步进行操作的按钮
确认提示
(会显示下一个操作画面)
■取消时
2
5
1 3
3
NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
3-3-5-1
个别
准备
基板的传送确认
操作手册
3-3-5
以到上游工序为止的确认已经结束、上游工序中有基板为前提，对基板的传送确认方法进行说明。
●是双轨模式时，要事前选择轨道。
9 8 7
■选择了上游的基台时
■选择了下游的基台时
3
4
+
+
+
(传送到上游基台的传入位置为止)
2
+
(确认基板的有无后，使设备转为可搬送的
状态)
+
(传送到上游工作台的传入位置为止)
(传送到下游工作台的传入位置为止)
+
(传送到下游工作台的传入位置为止)
+
(传出到下一台设备)
A
基板的传送位置
显示传送带上的基板位置。
1
请选择上游的工作台
5
请选择下游工作台
2
A
6
3 4
2
A
1
5
(传送到上游工作台的传入位置为止)
7
6
8
9
NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
3-3-5-2
B
传感器
颜色 传感器的状态
红色
ON
灰色
OFF
B
传入位置
贴装位置
基台之间的待机位置
*1) 此传感器，显示支撑单元下降状态时
是否有基板。
*1)
B
基台之间的待机位置
贴装位置
传出位置
∗本页的操作画面是以左→右流向为例子的。
10
请按动接下去要进行的准备的操
作按钮
11
确认提示
+
(会显示下一个操作画面)
■取消时
11