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NPM - DX EJM8D C - MB - 03O - 00 传送带的 短型规格 单轨模式的配置 双轨模式的配置 左 → 右流向 右 → 左流向 3-3-7 -4 ● 轨道 1 和轨 道 2 所使用的块不 同。 ( 关于识别方法 请参阅 → 『 操作手册 』 P.7 - 3-1) 10 在基板支撑块 ( 自动更换用 ) 上设置支撑销 ( 传送带的短型规格时 ) 螺栓 ●是传送长型规 格时请至步骤 。 ● 设置支撑销时 ，必需设置在基…
NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
传送带的
长型规格
单轨模式的配置 双轨模式的配置
左 → 右流向
右 → 左流向
个别
准备
支撑销 (自动更换用) 的
安装 2
3-3-7-3
操作手册
3-3-7
9
在基板支撑块 (自动更换用) 上设置支撑销
(传送带的长型的规格时)
支撑销 (自动更换用) 的安装 2
后侧
前侧
前侧
轨道2
轨道1
前侧
4 3 2 1
･･･
4 3 2 1
･･･
4 3 2 1
･･･
后侧
前侧
前侧
轨道2
轨道1
前侧
4 3 2 1
･･･
1 2 3 4
･･･
1 2 3 4
･･･
螺栓
●轨道1和轨道2所使用的块不同。
(关于识别方法请参阅 →『操作手册』P.7-3-1)
●是传送带短型规格时请至步骤 。
●设置支撑销时，必需设置在基准位置。(可能与传送带有干扰)
●在紧靠初始位上的螺栓的状态下，设置支撑销。(在进行配置动作
时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●基板流向是左→右时，从右端按顺序设置。
基板流向是右→左时，从左端按顺序设置。
●单轨模式时，只设置在固定轨道侧。
●支撑销的设置完成后，请至步骤 。
10
11
NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
传送带的
短型规格
单轨模式的配置 双轨模式的配置
左 → 右流向
右 → 左流向
3-3-7-4
●轨道1和轨道2所使用的块不同。
(关于识别方法请参阅 →『操作手册』P.7-3-1)
10
在基板支撑块 (自动更换用) 上设置支撑销
(传送带的短型规格时)
螺栓
●是传送长型规格时请至步骤 。
●设置支撑销时，必需设置在基准位置。(可能与传送带有干扰)
●在紧靠初始位上的螺栓的状态下，设置支撑销。(在进行配置动作时，
有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●基板流向是左→右时，从右端按顺序设置。
基板流向是右→左时，从左端按顺序设置。
●单轨模式时，只设置在固定轨道侧。
●是传送带短型规格时，为了防止支撑销的误配置，
是附有盖的。
●请不要将支撑销配置在盖的上面。
9
后侧
前侧
A基台
轨道2
轨道1
B基台
前侧
轨道2
轨道1
后侧
前侧
A基台
B基台
前侧
1 2 3 4
･･･
1 2 3 4
･･･
4 3 2 1
･･･
1 2 3 4
･･･
4 3 2 1
･･･
1 2 3 4
･･･
4 3 2 1
･･･
4 3 2 1
･･･
后侧
前侧
A基台
轨道2
轨道1
B基台
4 3 2 1
･･･
4 3 2 1
･･･
前侧
轨道2
轨道1
4 3 2 1
･･･
4 3 2 1
･･･
后侧
前侧
A基台
B基台
前侧
盖 盖
盖
盖
盖 盖
4 3 2 1
･･･
4 3 2 1
･･･
盖 盖
顺序
11
NPM-DX EJM8DC-MB-03O-00
个别
准备
支撑销 (自动更换用) 的
安装 3
3-3-7-5
操作手册
3-3-7
支撑销 (自动更换用) 的安装 3
11
●设置支撑销时，注意请勿碰撞
到轨道等。
●设置好基板支撑块后，将支撑
销安装到螺栓侧，并确认支撑
销紧靠螺栓。
安装基板支撑块 (自动更换用) 时，注意请勿倾斜安
装
(可能与轨道有干扰)
12
安装供料器工作台
盖
安装交换台车
(→P.2-4)
17
18
ACTIVATION
19
●然后，确认在基准位置实际配
置的支撑销数量和设备内保持
的支撑销数量。
ACTIVATION