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NPM - DX EJM8D C - MB - 04O - 00 4-2- 12 -3 6 ( 将删除错误发生位置 的基板 信息 ) 7 6 ( 返回到生产准备动作 画面 ) 7 生产 信息 操作 手册 4 - 2 - 12 基板弯曲检测错误 2 5 发生基板位置错误后 5
NPM-DX EJM8DC-MB-04O-00
4-2-12-2
3
从设备上抽出发生错误的基板
4
实施抽取确认
(将会开始生产)
+
+
2
(返回到主画面)
2
NPM-DX EJM8DC-MB-04O-00
4-2-12-3
6
(将删除错误发生位置的基板信息)
7
6
(返回到生产准备动作画面)
7
生产
信息
操作手册
4-2-12
基板弯曲检测错误 2
5
发生基板位置错误后
5
NPM-DX EJM8DC-MB-04O-00
应对处理方法③ 变更基板弯曲倾斜容许值
4-2-12-4
变更动作参数“基板弯曲倾斜容许值”的设定
(→『工程师手册』13-1-2 ‘动作参数的设定 ’)
实施示教
(→『工程师手册』12-1-4 ‘基板弯曲计测点数据’)
8
+
(开始生产)
●完成了基板抽取作业。
8
应对处理方法④ 基板弯曲计测示教