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6 定期检查 每 24 小时保养
EJM80DC-MB-05O-00
NPM-DX
5-5-5
各单元定期检查部位 4
＜其他＞(选购件)
操作手册
5-5
支撑销自动更换
前后侧
■支撑销 (自动更换用)
■基板传送带
基板支撑块 (自动更换用)
6 定期检查
每24小时保养
NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
工作
开始前
压力的检查 1
6-1-1-1
操作手册
6-1-1
确认气压
对供给压的检查进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 3 分钟 (设备电源ON)
1
2
1
2
3
4
主气压
(0.500 ~ 0.550 MPa)
①真空泵供给压
(用于B基台的)
②真空破坏压
(用于B 基台的)
①真空泵供给压
(用于A 基台的)
②真空破坏压
(用于A 基台的)
③清扫吹气压
④选购件用