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NPM - DX EJM8D C - MB - 06O - 00 工作 开始前 压 力的检查 1 6-1-1 -1 操作 手册 6 - 1 - 1 确认气压 对供给压的检查 进行说明。 使用工具 : 不要 所需时间 : 3 分 钟 ( 设备电源 ON) 1 2 1 2 3 4 主气压 ( 0.500 ~ 0.550 MPa ) ①真空泵供给压 ( 用于 B 基 台的 ) ②真空破坏压 ( 用于 B 基台的 ) ①真空泵供给压 ( 用于 …

100%1 / 320
6 定期检查
每24小时保养
NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
工作
开始前
压力的检查 1
6-1-1-1
操作手册
6-1-1
确认气压
对供给压的检查进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 3 分钟 (设备电源ON)
1
2
1
2
3
4
主气压
(0.500 ~ 0.550 MPa)
①真空泵供给压
(用于B基台的)
②真空破坏压
(用于B 基台的)
①真空泵供给压
(用于A 基台的)
②真空破坏压
(用于A 基台的)
③清扫吹气压
④选购件用
NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
1
6-1-1-2
2
2
确认真空泵的供给压
1
+
3
(显示从灰色变成蓝色，真空泵启动)
确认真空泵供给压 (压力表)
●压力规定值: -100~-87 kPa