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NPM - DX EJM8D C - MB - 06O - 00 1 6-1-1 -2 2 2 确认真空泵的供给 压 1 + 3 ( 显示从灰色变成蓝色 ，真空 泵启动 ) 确认真空泵供给压 ( 压力表 ) ● 压力规定值 : - 100~ - 87 kPa
NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
工作
开始前
压力的检查 1
6-1-1-1
操作手册
6-1-1
确认气压
对供给压的检查进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 3 分钟 (设备电源ON)
1
2
1
2
3
4
主气压
(0.500 ~ 0.550 MPa)
①真空泵供给压
(用于B基台的)
②真空破坏压
(用于B 基台的)
①真空泵供给压
(用于A 基台的)
②真空破坏压
(用于A 基台的)
③清扫吹气压
④选购件用
NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
1
6-1-1-2
2
2
确认真空泵的供给压
1
+
3
(显示从灰色变成蓝色，真空泵启动)
确认真空泵供给压 (压力表)
●压力规定值: -100~-87 kPa
NPM-DX EJM8DC-MB-06O-00
工作
开始前
6-1-1-3
调整气压 (主气压)
压力的检查 2
1
2
3
操作手册
6-1-1
●螺栓: 4个
使用工具: 六角扳手 (3 mm) 所需时间: 3 分钟
●主气压在规定值以外时，请调整。
拧松螺栓，卸下后侧压力表的保
护盖
●卸下螺栓
●螺栓: 4个
后侧压力表
保护盖
调整到规定值范围内
主气压用
调节器旋钮
●调节器旋钮的操作方法
1: 向上拉起旋钮。
2: 转动旋钮调整。
3: 压下旋钮。
安装后侧压力表的保护盖