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Key No. P AR T No. P AR T NAME Q’ ty REMARKS NOTE 15 MODEL TIM-5200F/R 0307-001 B-6 502 630 075 2502 PLA TE 1 805B--010-502 503 630 075 2519 BRACKET 2 805B--010-503 504 630 084 1992 SHAFT 2 805B--010-504 505 630 075 2533…
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MODEL TIM-5200F/R
0307-001
ベースフレーム部 BASE FRAME SECTION
Fig. B-6 治具ステージ Jig Stage
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See Fig.N-9
Key No.805
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Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
15
MODEL TIM-5200F/R
0307-001
B-6
502 630 075 2502 PLATE 1 805B--010-502
503 630 075 2519 BRACKET 2 805B--010-503
504 630 084 1992 SHAFT 2 805B--010-504
505 630 075 2533 PLATE 1 805B--010-505
506 630 002 2599 SPRING,COMP 1 5535 805B--010-506
507 630 075 2540 PLATE 1 805B--010-507
508 630 075 2557 PLATE 1 805B--010-508
509 630 084 2005 PLATE 1 805B--010-509
510 630 074 0066 LIGHTING UNIT 1 EL1,VLY-121 805BB-010-959
566 411 141 4107 WASHER V 5X10X1 2 FW5
567 411 141 6705 WASHER SPR 5 2 SW5
568 630 000 7824 BOLT,HEX-SCT 2 M5X45
570 411 141 5906 WASHER F 4X8X0.8 2 FWS4
571 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 6 FW4
572 411 141 2905 WASHER SPR 4 6 SW4
573 630 000 7626 BOLT,HEX-SCT 2 M4X10
574 630 000 7633 BOLT,HEX-SCT 4 M4X12
575 630 000 7657 BOLT,HEX-SCT 2 M4X16
593 411 050 5004 SCR TRS 3X6 4 M3X6 TRS
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MODEL TIM-5200F/R
0307-001
2 ビーム XY 部 2-BEAM XY SECTION
Fig. C-1 Y 軸部 Y Axis Section
Sheet-1
See Fig.B-1
Key No.2
See Fig.B-1
Key No.3
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