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17 MODEL TIM-5200F/R 0307-001 Sheet-2 2 ビーム XY 部 2-BEAM XY SECTION Fig. C-1 Y 軸部 Y Axis Section 46 36 38 46 73 74 75 37 35 75 35 46 74 73 46 31 42 42 31 81 82 81 82 86 37 78 77 76 38 97 40 39 41 39 50 45 40 97 43 87 88 8…
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MODEL TIM-5200F/R
0307-001
2 ビーム XY 部 2-BEAM XY SECTION
Fig. C-1 Y 軸部 Y Axis Section
Sheet-1
See Fig.B-1
Key No.2
See Fig.B-1
Key No.3
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0307-001
Sheet-2
2 ビーム XY 部 2-BEAM XY SECTION
Fig. C-1 Y 軸部 Y Axis Section
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See Fig.B-1
Key No.2
See Fig.B-1
Key No.3
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Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
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MODEL TIM-5200F/R
0307-001
C-1
1 630 122 2257 PLATE 2 805C--010-001
2 630 117 9377 PLATE 2 805C--010-002
3 630 068 9662 HOLDER 2 805C--010-003
4 630 082 3875 BRACKET,LOCATE 2 805C--010-004
5 630 068 4674 PLATE 2 805C--010-005
6 630 068 4681 BLOCK 2 805C--010-006
7 630 068 4650 COLLAR 4 805C--010-007
8 630 068 4667 COLLAR 4 805C--010-008
9 630 120 8718 PLATE 2 805C--010-009
10 630 084 3781 PLATE 2 805C--010-010
12 630 086 8234 PLATE 4 805C--010-012
13 630 120 1115 PLATE 1 805C--010-013
14 630 084 3828 PLATE 1 805C--010-014
15 630 119 4899 BLOCK 4 805C--010-015
16 630 074 9069 BLOCK 2 805C--010-016
17 630 117 9384 BRACKET 4 805C--010-017
18 630 117 9391 BLOCK 4 805C--010-018
19 630 084 3750 BRACKET 1 805C--010-019
21 630 083 5762 GUIDE,LINEAR 1 805C--010-021
22 630 120 6097 BALL SCREW 2 805C--010-022
24 630 069 0576 BEARING,RADIAL 2 7204ATYDBC8P5,PS2S
805C--010-024
25 630 069 0590 SEAL 4 805C--010-025
26 630 069 0583 BEARING,PARTS(LOCK NUT) 2 WBK20L-01 805C--010-026
27 630 069 0453 COUPLING 2 805C--010-027
28 630 120 0736 MOTOR,AC-SERVO 2 -MSVM02(YA),(YB),SGMSH-20ACA21
805C--010-028
29 630 069 0545 SENSOR,PHOTO 6 -BPH021(YA),(YB),-BPH022(YA),(YB),
-BPH023(YA),(YB),EE-SX674
805C--010-029
30 630 000 0252 SENSOR,PHOTO 1 -BPH027,EE-SX671 805C--010-030
31 630 000 0269 SENSOR,PHOTO(CONNECTOR) 11 805C--010-031
34 630 069 0637 PIN,LOCATE 2 805C--010-034
35 630 070 9292 CYLINDER 2 805C--010-035
36 630 070 9315 CYLINDER(JOINT) 2 805C--010-036
37 630 003 5193 AIR LINE EQPT 4 805C--010-037
38 630 070 9308 VALVE 2 YSV01A,01B,YSV02A,02B
805C--010-038
39 630 003 6534 AIR LINE EQPT 4 805C--010-039
40 630 006 8795 BEARING,RADIAL 4 6202ZZ 805C--010-040
41 630 070 9285 WASHER 4 805C--010-041
42 630 000 0245 SENSOR,PHOTO 4 BPH028,BPH029,BPH030,BPH031,
EE-SX670 805C--010-042
43 630 120 3195 BLOCK 2 805C--010-043
44 630 070 9360 LEVER 2 805C--010-044
45 630 070 9339 SHAFT 2 805C--010-045
46 630 082 3660 PLATE 2 805C--010-046
47 630 117 9476 PLATE 2 805C--010-047
48 630 122 1090 BOLT 4 805C--010-048
49 630 073 0197 BOLT 4 805C--010-049