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Key No. P AR T No. P AR T NAME Q’ ty REMARKS NOTE 29 MODEL TIM-5200F/R 0307-001 C-6 501 630 120 3126 COVER(L) 1 805C--010-501 502 630 120 3133 COVER(R) 1 805C--010-502 503 630 122 1 1 13 PLA TE 2 805C--010-503 566 41 1 1…
28
MODEL TIM-5200F/R
0307-001
2 ビーム XY 部 2-BEAM XY SECTION
Fig. C-6 ボールネジカバー Ball Screw Cover
See Fig.B-1
Key No.2
See Fig.B-1
Key No.3
568
501
567
566
502
566
567
568
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
29
MODEL TIM-5200F/R
0307-001
C-6
501 630 120 3126 COVER(L) 1 805C--010-501
502 630 120 3133 COVER(R) 1 805C--010-502
503 630 122 1113 PLATE 2 805C--010-503
566 411 141 4008 WASHER V 4X9X0.8 10 FW4
567 411 141 2905 WASHER SPR 4 10 SW4
568 630 000 7619 BOLT,HEX-SCT 10 M4X8
30
MODEL TIM-5200F/R
0307-001
真空ポンプ部 VACUUM PUMP SECTION
Fig. E-1 真空ポンプ Vacuum Pump
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