高速轴向元件插件机 - 第46页

AV131 维修手册 2.5 安全功 能的说明 D79MCC-10- 050-A0 2.5- 3  60 站 E S : 紧急停止开 关 IL, ZEM L, Z EPL, TSA 2 : 安全联锁开 关 X S L , Y S L : 安全超限开 关 ES1 ES2 IL2 IL1 IL3 IL4 ES5 ZRML ZRS ZRPL IL6 IL5 ES4 ES3