RS-1維修調整要領書 - 第112页
维修调整要领书 3-1- 5 电磁阀的更换（贴装头 RevA 以后） 1) 关闭主机的空气源。 2) 拆下贴装头 SV 托架。请参照 2-1- 12 【 Z 马达的更换】步骤。 3) 根据需要从贴装头 SV 托架上拆下电磁阀单元装置。 4) 拆下各电磁阀。（注意避免丢失电磁阀背面的垫圈） 5) 装配请按相反的步骤进行。 6) 更换后请手动控制贴装头真空的 ON/OF F ，确认动作。 ※ 盆头螺钉（ 2 个）和垫圈（ 1 个）是各电磁阀…
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3-1-4 HMS 的更换
1) 拆下 HMS 传感器感应头。
2) 在 CAL 部上面之间的距离被组装至 50±0.2mm。
3) 组装完成后，请取得偏差 HMS 传感器的 MS 参数。
HMS
传感器
内六角螺栓
M3 L=25
带垫片内六角螺栓
M3 L=6
CAL 部上面
50±0.2mm
3-3
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3-1-5 电磁阀的更换（贴装头 RevA 以后）
1) 关闭主机的空气源。
2) 拆下贴装头 SV 托架。请参照 2-1-12【Z 马达的更换】步骤。
3) 根据需要从贴装头 SV 托架上拆下电磁阀单元装置。
4) 拆下各电磁阀。（注意避免丢失电磁阀背面的垫圈）
5) 装配请按相反的步骤进行。
6) 更换后请手动控制贴装头真空的 ON/OFF，确认动作。
※ 盆头螺钉（2 个）和垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
贴装头 SV 托架
真空破坏用电磁阀
真空发生用电磁阀
3-4
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3-2 贴装头基板的更换
3-2-1 贴装头主基板的更换
1) 拆下贴装头 PCB 盖。
2) 拆下连接到贴装头主基板上的连接器。
3) 拆下贴装头主基板托架。
4) 从托架上拆下贴装头主基板。
5) 装配请按相反的步骤进行。
贴装头 PCB 盖
圆头螺丝 M4 L=6
贴装头主基板和托架
带垫片内六角螺栓 M3 L=6
3-5