RS-1維修調整要領書 - 第244页
维修调整要领书 12 - 52 3) 卸下与真空 泵连接的空气 管子、电源连接器， 松开用来固定真空泵托架 的内六角螺栓 (M6×2) ， 卸下泵支架。 六角凹头螺栓（ M6×2 ） 泵支架 气管 电源接头
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更换真空泵配件
由于以下配件损耗导致压力降低时，要考虑更换。
<损耗配件列表>
更换配件套装品号：4O138O45
检查位置
使用数量
检查内容
检查方法
碗型垫圈
2
有无异常磨损、硬化、龟裂等
目视
气缸垫圈
2
有无变形、硬化、龟裂等
目视
吸排气阀
2
有无变形、硬化、缺损
目视
O
环
S-67
2
有无变形、磨损、硬化、龟裂等
目视
Head
垫圈
2
有无变形、硬化、龟裂等
目视
● 真空泵的更换准备
1) 请确认真空泵没有在运转。（由于运转后泵内部很热，请在停止后放置约 3O 分，确认泵冷却后
再进行操作）
2) 请拆下机器主机前侧、右下部的护罩。
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3) 卸下与真空泵连接的空气管子、电源连接器，松开用来固定真空泵托架的内六角螺栓(M6×2)，
卸下泵支架。
六角凹头螺栓（M6×2）
泵支架
气管
电源接头
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4) 从主机里取出真空泵。
※ 取出时，请一边向①前方拉出的同时向②后方斜倾倒，保持这种状态向③前方拉出。
※ 拆下真空泵时请勿握住连接管。
连接管
六角头螺栓（M6×2）