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VM- 101 20 23.0 721 - 109 - ■ 托盘 供料器 的外形 尺寸 ( 单体 ) ( 单位 : mm ) ※ 1 托盘供料器高度 896 mm ，是 V M101 的 基板搬送高 度是 900 m m 时的 标准值 。 可调整范围是 : 89 6 mm 。 ※ 2 330 × 25 0 mm 尺寸的基板中心 382 ( 从基板中心 ※ 2 ) 基板中心 ※ 2 +65 -16.5 896 ※ 1 1 0 52 98 …
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■ 调整螺栓的配置图
(
单位
: mm)
前 侧
AIR
0.5 MPa ~ 0.8 MPa
电源
819.5
814
524
67
223
860.5
1 680
660
77
77
基板传送基准
260
740
490
190
139.5
600.5
1 263
599
1 081
182
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■ 托盘供料器的外形尺寸(单体)
(
单位
: mm)
※1 托盘供料器高度 896 mm，是 VM101 的基板搬送高度是 900 mm 时的标准值。
可调整范围是: 896 mm。
※2 330 × 250 mm 尺寸的基板中心
382
(
从基板中心
※
2
)
基板中心
※
2
+65
-16.5
896
※
1
1 052
985
105
873
828
480
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【前侧】更换交换台车、
【后侧】安装卷盘支架时，所必须的最小限空间。
设置机器时请必须确保以下的空间。
(
单位
: mm)
Remarks
•
交换台车设置范围的地面倾斜，需要台车的左右方向在
6 mm
以内，前后方向在
11 mm
以内。
地面倾斜度超过此范围时，不可搬移交换台车。
前 侧
1 077
2 132
3 703
1 571
954
1 004
668
460
1002
交换台车
卷盘支架