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3. 传感器配置图 MEC-NXT3-002S0 90 NXT III 机械手册 3.13.4 排出元件轨道 No. 地址 信号名 1 IN02 JOG 模式 2 IN04 不良元件排出许可确认 (Side) 3 IN03 不良元件排出许可确认 (中央) 4 IN05 不良元件 C/V 送料记数 T ray un i t -L T C 4 1 3 2 01M E C - 050 4

MEC-NXT3-002S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 89
3.13.3 往返搬运轨道
No. 地址 信号名
1 OUT20 往返搬运轨道开关夹紧
2 IN10 往返搬运轨道后退端
3 IN12 往返搬运轨道松开确认
4 IN11 往返搬运轨道夹紧确认
5 IN14 往返搬运轨道料盘高度监视 (中)
6 IN13 往返搬运轨道料盘高度监视 (下)
01MEC-0503a
1
2
3
4
Tray unit-LTC
6
5

3. 传感器配置图 MEC-NXT3-002S0
90 NXT III 机械手册
3.13.4 排出元件轨道
No. 地址 信号名
1 IN02 JOG 模式
2 IN04 不良元件排出许可确认 (Side)
3 IN03 不良元件排出许可确认 (中央)
4 IN05 不良元件 C/V 送料记数
Tray unit-LTC
4
1
3
2
01MEC-0504

MEC-NXT3-002S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 91
3.14 料盘单元 -M 传感器
9
8
5
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