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6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-002S0 388 NXT III 机械手册 真空泵的分解 1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺 栓 (M6×L16 )拧松,拆下手柄和平板。 2. 尽量使要更换的工作头处于上方将 泵竖向放置。 3. 拆除工作头的盖罩。 a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓 (M6×L30)拧松,拆下内六角螺栓 。 b. 用双手将装配接头向己方按压,拔 掉连接管。拆下工作头盖罩。此时,请将左右的 装配接头…

MEC-NXT3-002S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 387
10.拆除安装真空泵的螺栓 (4 根)。请握住手柄,一边将真空泵往后方移动一边举起后从
基座中取出。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰受伤。
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12.74 Nm
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上,确认泵冷却后进行操作。一旦运转停止,泵内部变
热,会造成灼伤。

6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-002S0
388 NXT III 机械手册
真空泵的分解
1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓 (M6×L16)拧松,拆下手柄和平板。
2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向放置。
3. 拆除工作头的盖罩。
a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓 (M6×L30)拧松,拆下内六角螺栓。
b. 用双手将装配接头向己方按压,拔掉连接管。拆下工作头盖罩。此时,请将左右的
装配接头一点点交替地拔出。
警告
在进行以下操作时,请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后会与空气一起
进入体内。
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9.31 Nm
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9.31 Nm

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NXT III 机械手册 389
4. 拆下汽缸。
a. 在拆下汽缸前,用油性笔在外壳和汽缸上做标记。
b. 用戴有手套的手,满满地将风扇向上旋转。此时,请必须戴手套。
c. 将汽缸向上拔起。
5. 拆下压板和盖垫。
a. 对准外壳的标记部,用油性笔在压板上做标记。