NXT-III 机械手册.pdf - 第420页
MEC-NXT3-002S0 6. 消耗品的更换 NXT III 机械手册 397 泵的地方。 5. 请拆除螺栓 (3 个 )，拆除隔板。 6. 请拆除真空泵终端箱的盖板，从终 端台拆除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。 7. 取下了的线路，与除了机器以外部 位不接触的那样，用绝缘料带等保护请固定。 01MEC-1316a 7.84 Nm 01MEC-1571a 3.92 Nm 12.74 Nm 01MEC-1315 W…
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-002S0
396 NXT III 机械手册
工具类
6.16.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态，将主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 拆除固定轨道的螺栓 (2 个 )，在不妨碍取出真空泵的状态下折弯轨道。然后拆除盖板
(2 块 )。
4. 请拆除螺栓 (2 个 )，拆除远程 I/O 电路板的 BKT。拆除的 BKT 请放置在不妨碍取出真空
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 扳手
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用乙醇酒精 擦拭清扫用
纸废棉纱头 擦拭清扫用
防尘口罩 -
手套 -
油性笔 -
警告
更换作业时，请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切断。
在进行拆除真空泵作业前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚停止后在泵的
内部很热，有可能造成灼伤。
NXTBAS064Sa
3.3 Nm
3.92 Nm
MEC-NXT3-002S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 397
泵的地方。
5. 请拆除螺栓 (3 个 )，拆除隔板。
6. 请拆除真空泵终端箱的盖板，从终端台拆除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。
7. 取下了的线路，与除了机器以外部位不接触的那样，用绝缘料带等保护请固定。
01MEC-1316a
7.84 Nm
01MEC-1571a
3.92 Nm
12.74 Nm
01MEC-1315
W
VU
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-002S0
398 NXT III 机械手册
8. 请从真空泵取下软管。
9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄，抬起真空泵，从机器基座取出。
01MEC-1318
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰受伤。
01MEC-1319a
12.74 Nm