RX-8_维修手册 - 第101页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 59 2-3- 2. 高度校准 HMS 转写 Stage1 的处 理 完成 后， 显示 如下 画面。 首先把 基板翘曲检测传感器转 写 调整治具 板安装 到右侧装置上 。 触摸［开始安装］。 进行左右一次性更换台 车上升、前面护罩的 锁定后， XY 轴退避，根据 治具 板的 尺寸 对前侧通道 的传送宽度自动进行宽 度调整。然后，进行 左右一次性更换台车 下降、前面 护罩解除 锁定。 通道宽度需要…
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
58
触摸［校准完毕］。
测定
XY
轴之最大值和最小值的
1 mm
前方的量（软件极限值）及当时的行程量。
列表显示测定结果，［完毕］按钮生效。
触摸［完毕］。
显示左侧装置
XY
校准的［个别显示］画面。请依照画面的指示，与右侧装置相同地实施校准。
全部工序完成后，显示为［已完成
XY
校准。］。
触摸［调整 OK］。
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
59
2-3-2.
高度校准
HMS
转写
Stage1
的处理完成后，显示如下画面。首先把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安装到右侧装置上。
触摸［开始安装］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴退避，根据治具板的尺寸对前侧通道
的传送宽度自动进行宽度调整。然后，进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
通道宽度需要进行微调时，请触摸
/
进行调整。
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
60
打开前面护罩，在右侧装置的前侧通道上，把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安
放到距轨道端 245 mm 的位置。
请把基板标记和治具标记的位置对齐。
关闭前面护罩，触摸［安装完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
显示右侧装置基板翘曲检测传感器转写调整的画面。
第 2 轨道
第 1 轨道
治具插入位置
治具标记
基板标记
基板翘曲检测传感器
转写调整治具板
装置前面