RX-8_维修手册 - 第103页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 61 触摸[校准执行]。 用传感器和摄像机对 治具 板的孔进行 测定,测定转写。 校准正常完成后,贴片 头移动,照射激 光到基板标记的中心。 以目视确认激光已射到基板标记的中心。 触摸[完毕]。 停止激光照射。保存校 准结果,显示基板 翘曲 检测传感 器转写 调整 治具板的拆卸画面。 触摸[开始拆卸]。 进行左右一次性更换台 车上升、前面护罩的 锁定后, XY 轴向退避位置移 动。 然后 进行基…

第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
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打开前面护罩,在右侧装置的前侧通道上,把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安
放到距轨道端 245 mm 的位置。
请把基板标记和治具标记的位置对齐。
关闭前面护罩,触摸[安装完成]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸[完毕]。
显示右侧装置基板翘曲检测传感器转写调整的画面。
第 2 轨道
第 1 轨道
治具插入位置
治具标记
基板标记
基板翘曲检测传感器
转写调整治具板
装置前面

第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
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触摸[校准执行]。
用传感器和摄像机对治具板的孔进行测定,测定转写。校准正常完成后,贴片头移动,照射激
光到基板标记的中心。
以目视确认激光已射到基板标记的中心。
触摸[完毕]。
停止激光照射。保存校准结果,显示基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸画面。
触摸[开始拆卸]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后,
XY
轴向退避位置移动。然后进行基板夹钳
下降、左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
拆下基板翘曲检测传感器转写调整治具板。
触摸[拆卸完成]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸[完毕]。

第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
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基板面
基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸完成后,显示如下画面。
把右侧装置传送轨道的基板压条位
置设定为
“
手按位置
”
。
触摸[装置内作业开始]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后,
XY
轴向待机位置移动,进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩,把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置滑动移动到“手按位置”
( )
。
关闭前面护罩,触摸[装置内作业完成]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸[完毕]。
显示右侧装置前后通道的基板面高度测定画面。
装置前面