RX-8_维修手册 - 第73页
第 2 章 操作顺序书 2- 2. 制造设置菜单 31 St age 9 ：传送系统确认项目 No. 控制名称 部位 Bit 装置 判断 方式 向下一 画面转移 显示 条件 9-3 基板检出传感器 （前 R ） F Conveyor [IN] +1319Ch D3 － D 自动 － 9-6 基板检出传感器 （前 C ） +1319Ch D2 － D 自动 － 9-9 基板检出传感器 （前 L ） +1319Ch D1 － D 自动 …
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
30
Stage 8
：
ATC
单元确认项目
No.
控制名称
部位
Bit
装置
判断
方式
向下一
画面转移
显示
条件
8-2
ATC 1
的有无
F Conveyor
[IN]
+131A2h
D5
R
D
自动
ATC
2
台
8-4
ATC 1
的滑动
F Conveyor
[OUT]
+13105h
D5
R
F
确认
OK
ATC
2
台
ATC 1
的有无
F Conveyor
[IN]
+131A2h
D5
8-6
ATC 2
的有无
F Conveyor
[IN]
+131A2h
D4
R
D
自动
－
8-8
ATC 2
的滑动
F Conveyor
[OUT]
+13105h
D5
R
F
确认
OK
－
ATC 2
的有无
F Conveyor
[IN]
+131A2h
D4
8-10
ATC 3
的有无
F Conveyor
[IN]
+131A0h
D5
L
D
自动
－
8-12
ATC 3
的滑动
F Conveyor
[OUT]
+13104h
D5
L
F
确认
OK
－
ATC 3
的有无
F Conveyor
[IN]
+131A0h
D5
8-14
吸嘴盒
4
的有无
F Conveyor
[IN]
+131A0h
D4
L
D
自动
ATC
2
台
8-16
吸嘴盒
4
的滑动
F Conveyor
[OUT]
+13104h
D5
L
F
确认
OK
ATC
2
台
吸嘴盒
4
的有无
F Conveyor
[IN]
+131A0h
D4
8-25
ATC
单元确认
自动
手动
－
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
31
Stage 9
：传送系统确认项目
No.
控制名称
部位
Bit
装置
判断
方式
向下一
画面转移
显示
条件
9-3
基板检出传感器
（前
R
）
F Conveyor
[IN]
+1319Ch
D3
－
D
自动
－
9-6
基板检出传感器
（前
C
）
+1319Ch
D2
－
D
自动
－
9-9
基板检出传感器
（前
L
）
+1319Ch
D1
－
D
自动
－
9-15
支承销
检出传感器
1
F Conveyor
[IN]
+1319Dh
D6
－
D
自动
－
9-25
夹钳上升／下降
(
前
R)
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13105h
D3
+131A0h
D0
－
F
确认
OK
－
9-29
夹钳上升／下降
(
前
L)
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13104h
D3
+131A0h
D1
－
F
确认
OK
－
9-32
供料器浮起检测
(
高速
)
E Bank Relay
[IN]
+14010h
D3
－
D
自动
－
9-34
基板停止器上升
/
下
降
(
前
R)
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13105h
D2
+131A2h
D0
－
F
确认
OK
－
9-37
基板停止器上升
/
下
降
(
前
L)
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13104h
D2
+131A2h
D1
－
F
确认
OK
－
9-40
传送系统确认
自动
手动
－
第
2
章
操作顺序书
2-2.
制造设置菜单
32
Stage 10
：外部 I/F 确认项目
No.
控制名称
部位
Bit
装置
判断
方式
向下一
画面转移
显示
条件
10-6
运入
SMEMA
信号
确认（前）
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13109h
D0
+1319Dh
D4
－
F
确认
OK
－
10-8
运出
SMEMA
信号
确认（前）
F Conveyor
[OUT]
[IN]
+13109h
D1
+1319Dh
D5
－
F
确认
OK
－
10-10
外部
I/F
确认
自动
手动
－