DECAN_S1_Administrator∏s_Guide(Chi_Ver1.4)_Web - 第413页

14-45 Machine Calibration 测量结果可在 Camera setting 对 话框中确认。 备 注 Fix Camera 的 校准基准值如下。 (FOV 45mm (MEGA))  Scale X : 42.7 ~ 45.7 ( μ m/pixel)  Scale Y : 42.7 ~ 45.7 ( μ m/pixel)  Scale R : -1 ~ 1 (Deg)

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4. 将显示“Set Calibration Tool into hole 1 of ANC1”信息。在ANC1的1号孔上安装
CNT20喷嘴后，点击<确认>按钮。
5. 选择<Automatic Next> 校验盒后, 点击<5. Fix1 Cam.> 按钮。
6. 自动实行Calibration，Calibration完毕后如下图所示地显示结果值。如果需要适
用Calibration值，则点击<Update>按钮。
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Machine Calibration
测量结果可在Camera setting对话框中确认。
备 注 Fix Camera的校准基准值如下。(FOV 45mm (MEGA))
Scale X : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
Scale Y : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
Scale R : -1 ~ 1 (Deg)
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
14.3.8.2. Fix Camera Thermal Mapping
为了针对设备稼动后丝杆摩擦热所导致的XY坐标系的热变形进行补偿，需要针对
ANC上的一个 Fiducial Mark进行示教。
1. 点击<8. Fix Cam. Thermal Org.>按钮。
2. 点击<Move>按钮，确认基本坐标的位置是否是 ANC的基准标记。
3. 如果基本坐标不是ANC的基准标记，则以手动方式示教坐标。