DECAN_S1_Administrator∏s_Guide(Chi_Ver1.4)_Web - 第414页
14-46 Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide 14.3.8.2. Fix Camera Thermal Mapping 为了针对设备稼动后丝杆摩擦热所 导致的 XY 坐标系 的热变形进行补偿， 需要针对 ANC 上的一个 Fiducial Mark 进行示教。 1. 点击 <8. Fix Cam. Thermal Or g…
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Machine Calibration
测量结果可在Camera setting对话框中确认。
备 注 Fix Camera的校准基准值如下。(FOV 45mm (MEGA))
Scale X : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
Scale Y : 42.7 ~ 45.7 (μm/pixel)
Scale R : -1 ~ 1 (Deg)
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Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
14.3.8.2. Fix Camera Thermal Mapping
为了针对设备稼动后丝杆摩擦热所导致的XY坐标系的热变形进行补偿，需要针对
ANC上的一个 Fiducial Mark进行示教。
1. 点击<8. Fix Cam. Thermal Org.>按钮。
2. 点击<Move>按钮，确认基本坐标的位置是否是 ANC的基准标记。
3. 如果基本坐标不是ANC的基准标记，则以手动方式示教坐标。
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Machine Calibration
4. 按照下图所示步骤实行Thermal Mapping。
5. 需要把校准结果应用到设备时，点击<Update>按钮。