DECAN_S1_Administrator∏s_Guide(Chi_Ver1.4)_Web - 第537页
16-13 Diagnosis( 诊断 ) 注 意 真空过滤器 (Vacuum Filter) 的清扫越是不 良， 越会提早出现破坏 真空 (Vacuum Off) 的现象。 如 下图所示， 以平均值为基准， 如果 结果值偏布于左侧就更换真空过 滤器。 否则， 电磁阀会受损而最终影响到设备性能 ( 真空过滤器 ： 更换周 期 6 个月 ) 。 <Close> 按钮 关闭对话窗口。
16-12
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
<Vacuum On>
指示真空度达到90%时所花费的时间。以平均值为基准，离差越少越好 (平
均值：34 ms)。
如果在天蓝色区域里存在着结果值则表示正常，如果在白色区域显示着结果
值则表示异常而需要持续观察，如果在灰色区域里显示着结果值则表示不正
常而需要更换该元器件。
在天蓝色区域里面以平均值为中心，所有的结果值的离差越少越好；离差越
大越能判定为异常而需要持续观察。
<Vacuum Off>
指示破坏真空达到90%时所花费的时间(平均值：32 ms)。
如果在天蓝色区域里存在着结果值则表示正常，如果在白色区域显示着结果
值则表示异常而需要持续观察，如果在灰色区域里显示着结果值则表示不正
常而需要联系STS或当地代理店后接受精密检查。
在天蓝色区域里面以平均值为中心，所有的结果值的离差越少越好；离差越
大越能判定为异常而需要持续观察。
16-13
Diagnosis(
诊断
)
注 意 真空过滤器(Vacuum Filter)的清扫越是不良，越会提早出现破坏
真空(Vacuum Off)的现象。如下图所示，以平均值为基准，如果
结果值偏布于左侧就更换真空过滤器。
否则，电磁阀会受损而最终影响到设备性能 ( 真空过滤器：更换周
期6个月)。
<Close> 按钮
关闭对话窗口。
16-14
Next Generation, Multi-Functional Placer DECAN S1 Administrator’s Guide
16.5. 手控制器 (Jog Box) [F6]
检查 Jogbox 的动作。单击此按钮显示如下的对话框。表示实际操作当中Jogbox 的各
按钮的动作状态。
图
16.8 “
示教盒
”
对话框
<全速LED灯> 按钮
开/关全部 速度LED。
<全模式LED灯> 按钮
开/关全部 模式LED。
<全轴LED灯> 按钮
开/关全部 轴LED。
<全头LED灯> 按钮
开/关全部 头LED。
<全部LED灯> 按钮
开/关所有的LED。
<关闭> 按钮
关闭对话框。