NXTII 培训手册.pdf - 第202页
Edition 1.0 N X T I I 用户高级培训手册 FMC-1010-003-0 C 4-64 FUJI MACHINE MFG. CO., LTD 4.27 真空阀的吸气阀、 排气阀、 垫圈等 〈 4M-2 基座用泵 (DOP-420SA 用 ) 的时候〉 请将吸气阀、垫圈等的损耗品与真空泵维修保养套件的新部件进行更换。 4.27.1 更换时期 机器每运转 10,000 小时 4.27.2 准备物品 维修套件（ DOP-42…
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真空泵的安装
1. 请按照与拆除相反的步骤，将真空泵放入机器内固定。
警告
)
请务必
2
人以上时进行操作，不要在勉强的姿势下抬起真空泵，有可能使腰受伤。
2. 如下图所示，请对接线台（Earth,W,V,U）布线。
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4.27 真空阀的吸气阀、排气阀、垫圈等〈4M-2 基座用泵(DOP-420SA
用)的时候〉
请将吸气阀、垫圈等的损耗品与真空泵维修保养套件的新部件进行更换。
4.27.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
4.27.2 准备物品
维修套件（DOP-420SA 用）
No.
部件名称 数量
1
盖垫
4
2
阀
8
3
S-100 O 型圈
4
4
AS568-117 O 型圈
2
5
密封圈
2
6
过滤器
4
7
除尘口罩
2
工具类
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工具类名称 备注
六角 T 扳手 对边 5 mm
六角 T 扳手 对边 3 mm
六角 T 扳手 对边 2.5 mm
转矩扳手 对边 5 mm
转矩螺丝刀 对边 3 mm
转矩螺丝刀 对边 2.5 mm
十字螺丝刀
No. 2
压缩机 吹气用
硅质润滑油
-
密封胶 242 固定螺丝用
回丝
-
4.27.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 将在基座上右端的模组处于半拉出状态，使主开关 OFF。
警告
)
在进行拆除真空泵操作前，请务必切断机器主电源。
2. 等待真空泵的表面温度下降到室温为止。
警告
)
请在泵体停止运转放置
30
分钟以上，并且确认泵体冷却后再进行操作，运转放停止时
的泵体内部很热，有可能造成灼伤。
3. 小心地拆下固定轨道的螺丝（2 根），尽量不要妨碍拆除真空泵弯曲轨道。其次，拆除盖
板(2 块)。
4. 拆除真空泵接线箱的盖板。
5. 从接线台拆除布线（电源线 3 根，地线 1 根）。
6. 用绝缘胶布等保护固定，以免拆除的配线与机器的其他部位接触。
7. 请从真空泵上拆除连接管。