KE-3010_20V_使用说明书 - 第1015页
第2部 功能 详解编 第1 1章 自动 校准 1 1-22 11-2-6-1 设置方法 准备结束后一边按下 [ 确认 ] 按钮、一边按 [ 操作 ] 显示的指示进行操作，自动获得值。 到设置结束为止的动作参见下列（１） ～（ 4 ）说明。 (1) 测量真空到达状况 按下 [ 确认 ] 按钮后，设置 Head 移动到真空校准上，对真空到达状况进行 3 次测量。 ・ 显示第 2 次和第 3 次的平均值。 ・ 测量后显示的压力值的图表是第 3…
第2部 功能详解编 第11章 自动校准
11-21
(2) 操作结果
显示操作的结果、到达真空状况、自然破坏状况、加压破坏状况、吹气时间。
No.
项目 设置内容
1
到达真空度
通过 Head 侧、真空校准侧、各压力传感器检测到的真空
压最高值
2
到达真空时间
通过 Head 侧、真空校准侧、各压力传感器检测到的真空
到达时间
3
真空开始时间
通过 Head 侧、真空校准侧、各压力传感器检测到的真空
开始时间
4
自然破坏开始时间
通过 Head 侧、真空校准侧、各压力传感器检测到的、从
真空电磁阀关闭到真空值达到吸取真空压下限值的时间
5
自然破坏时间
通过 Head 侧、真空校准侧、各压力传感器检测到的、从
真空电磁阀关闭，到真空值达到吸取真空压限值的时间
6
正压突进时间
通过 Head 侧压力传感器，测得的从吹气电磁阀打开到真
空值低于大气压转为正压的时间
(3) 操作
1) 进度条
显示检测的进度。检测结束则变为 100%。
2) [确认]按钮
如按下[确认]按钮，则各 Head 单元移动到等待位置，开始检测。
详细请参照以下小项“设置方法”。
警告
按下“确认”后轴将移动。
在按“确认”之前，请务必确认没有人在装置内部作业。另外，为防止人身
伤害，在机器运转过程中切勿把手伸入设备内部，脸和头也不要靠近设备。
第2部 功能详解编 第11章 自动校准
11-22
11-2-6-1 设置方法
准备结束后一边按下[确认]按钮、一边按[操作]显示的指示进行操作，自动获得值。
到设置结束为止的动作参见下列（１）～（4）说明。
(1) 测量真空到达状况
按下[确认]按钮后，设置 Head 移动到真空校准上，对真空到达状况进行 3 次测量。
・ 显示第 2 次和第 3 次的平均值。
・ 测量后显示的压力值的图表是第 3 次的数据。
·真空到达状况测量结果
·操作指示（自然破坏状况）
第2部 功能详解编 第11章 自动校准
11-23
(2) 测量自然破坏状况
按下[确认]按钮，则设定 Head 移动到真空校准上，对自然破坏状况进行 3 次测量。
・ 显示第 2 次和第 3 次的平均值。
・ 测量后所显示的压力值图表为第 3 次的数据。
·自然破坏状况测量结果
·操作指示（加压破坏状况）