KE-3010_20V_使用说明书 - 第30页
第 1 部 基本編 第 1 章 装置概要 1-1 1 ◆ 打开安全罩时，先把罩子推上去， 再把锁杆向箭头（LOC K）方向推，锁好。 确认上了锁之后，再放开手。 ﹡没有上好锁就松手时， 安全罩有落下来的危险。 ◆要关安全罩时，要先解开锁，再关闭 。 把安全罩向上提， 再把锁杆向 OPE N 方向推，解锁。 （请注意，解锁时要防止盖子落下来受 伤。 ） ﹡不要在安全盖、手杆等处过渡增加负 荷。 LOCK （锁定）状态 O PEN（打开）状…
第 1 部 基本編 第 1 章 装置概要
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1-1-5 本装置的构成
① 液晶监视器
② 操作面板
③ 电源开关
④ 信号灯
⑤ 迷你信号灯(选购项)
⑥ 空气调节器（后侧）
⑦ 压力表
⑧ 键盘
⑨ 鼠标
⑩ FDD/ DVD 驱动盘(选购项)
⑪ 真空泵
（
M,L 基板规格:前侧）
（
XL 基板规格:后侧）
⑫ 漏电断路器 (后侧)
① ATC 单元
② LNC60 Head 单元
③ IC Head 单元
(CDS:KE-3020V)
(FMLA:KE-3020VR)
④OCC 单元(R)
(KE-3020V/3020VR)
⑤OCC 单元(L)
⑥ VCS 单元
(KE-3010 为选购项)
⑦X-Y 单元
⑧基板传送单元
⑨CAL 块单元
⑩供料器台架单元
⑪HMS 单元
⑫共面单元 （选购项）
⑬CVS 单元（选购项）
⑭负荷控制单元（选购项）
⑮助焊剂涂敷装置（选购项）
①
②
③
④
⑩
⑫
⑥
⑪
⑤
⑦
③
①
②
⑤
⑥ ⑧ ⑨
⑦
④
⑩
⑪
⑫ ⑬ ⑭
⑮
⑧⑨
第 1 部 基本編 第 1 章 装置概要
1-11
◆ 打开安全罩时，先把罩子推上去，
再把锁杆向箭头（LOCK）方向推，锁好。
确认上了锁之后，再放开手。
﹡没有上好锁就松手时，
安全罩有落下来的危险。
◆要关安全罩时，要先解开锁，再关闭。
把安全罩向上提，
再把锁杆向 OPEN 方向推，解锁。
（请注意，解锁时要防止盖子落下来受伤。）
﹡不要在安全盖、手杆等处过渡增加负荷。
LOCK（锁定）状态 OPEN（打开）状态
＜开关安全罩时的注意事项＞
第 1 部 基本編 第 1 章 装置概要
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1-2 本装置的构造
1-2-1 基板传送部分的构造
＜M,L 基板规格＞
＜XL 基板规格＞
①IN 传感器 ⑦传送电磁阀 ⑬支撑销
②OUT 传感器 ⑧传送马达 ⑭自动调整宽度马达（选购项）
③WAIT 传感器 ⑨驱动轴 ⑮ Y 夹杆
④STOP 传感器 ⑩挡块 ⑯减压阀
⑤C-OUT 传感器 ⑪定心销（选购项） ⑰传感器功放
⑥支撑台原点传感器 ⑫支撑台 ⑱操作轴
①
⑯
⑭
⑰
⑪
⑨
⑧
⑦
⑥
⑤
④
③
②
⑧
⑨
⑧
⑪
⑨
⑩
⑮
⑬
⑫
基板传送方向
基板搬送方向
①
⑧
③
⑪
⑪
⑭
⑨
⑰
⑧
⑧
⑤
④
②
⑨
⑩
⑮
⑬
⑥
⑫
⑨
⑯
⑦
⑱