KE-3010_20V_使用说明书 - 第346页
第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-4 更换间隔：每 2 年更换 1 次。或压力下降约 0.1MPa （ 1kgf ／ C ㎡）时。 更换方法 1 ）请关闭指状阀的旋纽。 2 ）边降下滑动部分，边将主体向左右任意一侧旋转 45 度，然后抽出。 3 ）将固定过滤器 零件 B 的树脂零件向 左旋转，拆卸过滤器零 件 B 。将过滤器零件 A 本身向左旋转后拆 下，拆卸过滤器零件 A 。 4 ）按拆卸时的逆向步骤重新安装好。 1 ） 在压…
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-3
3-2 各部分的检查
1）在压力表上确认压力为 0.5MPa ± 0.05MPa。
2） 若压力值不在上述范围内，请检查工厂内是否有空气泄漏如果没有异常，请按“调整方法”重新调整压力。
3) 若是排水管连接的瓶内存了水、 油，请倒干净。
1) 打开旋钮①。
2) 向下拉“调节器旋钮②”，旋转旋钮，把使用的空气压力调整为 0.5MPa。
检查项目
3-2-1 气压、排水瓶
实施频度 ：每天
检查内容 确认初压，检查排水管
调整方法 调整初压
打开状态 关闭状态
①
瓶内存了水、
油，请倒干净。
②
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-4
更换间隔：每2年更换1次。或压力下降约0.1MPa（1kgf／C㎡）时。
更换方法
1）请关闭指状阀的旋纽。
2）边降下滑动部分，边将主体向左右任意一侧旋转 45 度，然后抽出。
3）将固定过滤器零件B的树脂零件向左旋转，拆卸过滤器零件B。将过滤器零件A本身向左旋转后拆
下，拆卸过滤器零件A。
4）按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
1） 在压力表上确认压力为 –87kPa 以上。
2) 负压表降低到-87kPa 时，需要更换消耗零件。
请按照「3-8-2 更换真空泵元件」进行消耗零件的检查、更换。
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检查 更换 更换过滤器零件 更换标准 ： 2年
检查项目
3-2-2 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容 确认真空压力
在开始作业前，请关闭指状阀的旋纽。
注
意
过滤器零件 A
PF901010000
过滤器零件 B
PF901006000
树脂零件
滑动部
打开状态
关闭状态
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3-5
1) 请确认没有漏气
1）主机接通电源后，请选择“手动控制”项目，检查下列各项目的动作状况。
① 基板挡块部
② 夹杆 Y
③ ATC 单元
手动控制 “操作说明书 第 9 章 手动控制”
在确认各项动作、检查传感器的开／关情况时，执行手动控制模式。
2）如果动作有问题，请参考 “3-9 章 管道系统图”进行检查。
检查项目
3-2-3 管道及接头
实施频度 ：每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-2-4 各单元气缸
实施频度 ：每周
检查内容 检查各气缸的动作
检查漏气
＜左侧深处＞
指状阀
在功能栏上选择“手动控制”
后动手