KE-3010_20V_使用说明书 - 第347页

第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-5 1) 请确认没有漏气 1 )主机接通电源后,请选择 “ 手动控制 ” 项目,检查下列各项目的动作状况。 ① 基板挡块部 ② 夹杆 Y ③ AT C 单元 手动控制 “ 操作说明书 第 9 章 手动控制 ” 在确认各项动作、检查传感器的开/关情况时,执行手动控制模式。 2 )如果动作有问题,请参考 “3-9 章 管道系统图 ” 进行检查。 检查项目 3-2-3 管道及接头 实施频度 :每周 检…

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1 部 基本編 第 3 章 维护
3-4
更换间隔:每2年更换1次。或压力下降约0.1MPa1kgfC㎡)时。
更换方法
1)请关闭指状阀的旋纽。
2)边降下滑动部分,边将主体向左右任意一侧旋转 45 度,然后抽出。
3)将固定过滤器零件B的树脂零件向左旋转,拆卸过滤器零B。将过滤器零件A本身向左旋转后拆
下,拆卸过滤器零件A
4)按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
1 在压力表上确认压力为 –87kPa 以上。
2) 负压表降低到-87kPa 时,需要更换消耗零件。
请按照「3-8-2 更换真空泵元件」进行消耗零件的检查、更换。
检查 更换 更换过滤器零件 更换标准 2
检查项目
3-2-2 真空泵压力
实施频度 :每天
检查内容 确认真空压力
在开始作业前,请关闭指状阀的旋纽。
过滤器零件 A
PF901010000
过滤器零件 B
PF901006000
树脂零件
滑动部
打开状态
关闭状态
1 部 基本編 第 3 章 维护
3-5
1) 请确认没有漏气
1)主机接通电源后,请选择手动控制项目,检查下列各项目的动作状况。
基板挡块部
夹杆 Y
ATC 单元
手动控制 操作说明书 9 手动控制
在确认各项动作、检查传感器的开/关情况时,执行手动控制模式。
2)如果动作有问题,请参考 “3-9 管道系统图进行检查。
检查项目
3-2-3 管道及接头
实施频度 :每周
检查内容 检查气压管道部分是否漏气
检查项目
3-2-4 各单元气缸
实施频度 :每周
检查内容 检查各气缸的动作
检查漏气
侧深处>
指状阀
在功能栏上选择“手动控制”
后动手
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3-6
1) 请目检确认 Head 单元正面部过滤器箱内的「空气过滤器①」没有脏污。
2)请确认真空校准没有问题。
真空校准
操作说明书 11-2-6 真空校准
在主画面上选择「维护」「机器自动校准」再执行「设置组」
「真空校准」
执行结果若有问题,会显示提示,敦促更换。
3) 有脏污时,请更换新过滤器。
1)
把过滤器箱的「固定螺丝②」(前后 4 处)拧松,取下「过滤器箱 U①」
2) 检查「过滤器③」有无脏污。
3)
若有脏污,请把「过滤器箱 L④」中的「过滤器③」更换下来。
4)
把「过滤器③」插入「过滤器箱 L④」,要插到底,用「固定螺丝②」固定好。
此时,请确认「O F2⑤」是否正好套进「过滤器箱 L④」的沟里。
5) 重新取得无吸嘴状态下的真空值。
检查项目
3-2-5 空气过滤器(LNC60 Head
实施频度 :每月
检查内容 检查空气过滤器脏污
更换 更换新的空气过滤器 使用工具 :螺丝刀 更换标准: 6个月
过滤器③ 货号:40046646
「操作说明书 8-4-2 无吸嘴状态下真空值」
从主画面实施「机器设置」→「无吸嘴状态
下的真空值」
无吸嘴状态下真空值