KE-3010_20V_使用说明书 - 第392页
第 1 部 基本編 第 3 章 维护 3-50 ＜ XL 规格 更换准备＞ ※ 为 电动台架规格时，请按照前项中的「切带单元的更换」 ，取下切带单元。 1） 请断开电源，确认真空泵处于未开动状态。 （开动后很快会发烫，务请注意。 ） 2） 请取下前侧①和后侧②的护罩。 3 ）取下前侧的真空泵护罩。 4) 拆下连接在真空泵上的气管、成捆电线（电源、地线） 。 5) 取下固定真空泵托盘前侧的圆头螺钉③。 6) 拧松固定真空泵托盘后侧的凸缘螺…
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-49
3)从真空泵拆下气管、成捆电线（电源线、保险丝），卸下固定 VAC_PUMP_PLATE 的③内六角螺栓（M4×8)。
将真空泵从主机里取出。
※取出时请注意成捆的电线。
※取出真空泵时，请勿把持连接管。
※取出
真空泵时，有时真空泵托架会与橡胶垫粘连在一起。
VAC PUMP PLATE
内
六
角螺栓
×4
电源、保险丝
电源、保险丝使用捆束带
（小）固定一处。
连接管
第 1 部 基本編 第 3 章 维护
3-50
＜XL 规格 更换准备＞
※为
电动台架规格时，请按照前项中的「切带单元的更换」，取下切带单元。
1） 请断开电源，确认真空泵处于未开动状态。
（开动后很快会发烫，务请注意。）
2） 请取下前侧①和后侧②的护罩。
3）取下前侧的真空泵护罩。
4) 拆下连接在真空泵上的气管、成捆电线（电源、地线）。
5)取下固定真空泵托盘前侧的圆头螺钉③。
6)拧松固定真空泵托盘后侧的凸缘螺母④。
7)将真空泵从前侧拉出。（拉出时请注意成捆的电线。）
①
②
前侧
后侧
③
④
取下气管的位置
缆线捆束线
前侧
后侧
③
④
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●
密封圈的更换
1） 取下泵头护罩的 4 个（左右合计共 8 个）内六角螺栓(M5×20)。
2） 取下泵头护罩内测的黑色
密封圈，共 2 个，更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内，请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合。
3） 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20)用 5.0N・m 对角拧紧。（在更换其它消耗部件时，在
不关闭护罩状态下参照各部位的更换工工序项目）
●
更换 O 环 S-67
1） 用与更换密封圈同一要领，卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的Ｏ环 S-67 有时会粘连在一起，
遇此情况请抓住泵头盘向上提，碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后，再进行剥离作业。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气
缸
泵头盘
O
环
S-67
泵头盘