P220002e.pdf - 第31页

MEMO

100%1 / 172
Key No. PART No. PART NAME Q’ty REMARKS
NOTE
MODEL TPM-110F/R-C
0211-001
28
375 630 001 0220 WASHER 4 748E--310-375
E-4
MEMO
MODEL TPM-110F/R-C
0211-001
30
チャック部
CHUCK SECTION
Fig. E-5
基板チャック搬送部
P.C.B. Chuck Transfer Section
　( 手前基準）
　
(Front Reference)
478
426
425
See Fig.E-3
Key No.22
3
See Fig.E-3
Key No.222
See Fig.E-
1
Key No.14
See Fig.E-
1
Key No.20
471
474
462
423
469
468
464
462
401
422
474
478
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425
427
407
405
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466
464
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464
430
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