MS-510 维护手册Maintenance Manual-C - 第10页
（3）刮刀直线导轨涂抹润滑脂的部位(细小部 位 5、Z轴气动单元 （1） Z轴涂抹润滑脂部位1(花键、杆） （2） Z轴涂抹润滑脂部位2（凸轮） —5 / Meister MS ‐ 510 位 ) 加油口 花键 杆 （在3个槽的两侧加油） 加油口（2处） 凸轮 10 —
（4）摄像头滑轨座涂抹润滑脂的部位(细小部
位
4、刮刀驱动部
（1） 刮刀部位的滚珠丝杠
（2） 刮刀直线导轨
—4/
MeisterMS‐510
位
)
加油口
柔性联轴节
涂抹润滑脂
柔性联轴节
直线导轨
10 —
（3）刮刀直线导轨涂抹润滑脂的部位(细小部
位
5、Z轴气动单元
（1） Z轴涂抹润滑脂部位1(花键、杆）
（2） Z轴涂抹润滑脂部位2（凸轮）
—5/
MeisterMS‐510
位
)
加油口
花键
杆
（在3个槽的两侧加油）
加油口（2处）
凸轮
10 —
6、工作台、传入、传出导轨涂抹润滑脂部位
7、基板托板导杆涂抹润滑脂部位
8、传送系统
—6/
MeisterMS‐510
柔性联轴节（各丝杠处一个）
滚珠丝杠（各导轨处一根）
杆
（
传入
、
传出各两根
）
杆
（
传入
、
传出各两根
）
导杆（4个）
皮带张紧调整处
皮带张紧调整处
传送带
10 —