MS-510 维护手册Maintenance Manual-C - 第13页

（2）、气压确认 11 工作台基板传感器 11 、工作台基板传感器（1）、传感器部（2）、放大器、光纤传感器部 —8 / Meister  MS ‐ 510 调整基板边夹气压所用调节阀光纤传感器探测头光纤光纤传感器（灵敏度调整部位） 10 —

9、印刷头

（1）、涂抹润滑脂部位

（2）、刮刀平衡部

10、印刷工作台

（1）、基板边夹部

—7/

MeisterMS‐510

涂抹润滑脂部位

缓冲柱塞确认（4个地方）

（间隙0.1mm)

基板边夹

10 —

（2）、气压确认

11

工作台基板传感器

11

、

工作台基板传感器

（1）、传感器部

（2）、放大器、光纤传感器部

—8/

MeisterMS‐510

调整基板边夹气压所用

调节阀

光纤传感器探测头

光纤

光纤传感器（灵敏度调整部位）

10 —

12、XYθ驱动部

（1）、X轴滚珠丝杠

（2）、导轨加油口

（1）、控制箱

13、电气控制

—9/

MeisterMS‐510

X轴滚珠丝杠（Y、θ轴相同）

柔性联轴节

加油口

10 —