MS-510 维护手册Maintenance Manual-C - 第14页
12、XYθ驱动部 （1）、X轴滚珠丝杠 （2）、导轨加油口 （1）、控制箱 13、电气控制 —9 / Meister MS ‐ 510 X 轴滚 珠 丝 杠（ Y 、 θ 轴 相同） 柔性 联轴节 加油口 10 —
（2）、气压确认
11
工作台基板传感器
11
、
工作台基板传感器
（1）、传感器部
（2）、放大器、光纤传感器部
—8/
MeisterMS‐510
调整基板边夹气压所用
调节阀
光纤传感器探测头
光纤
光纤传感器（灵敏度调整部位）
10 —
12、XYθ驱动部
（1）、X轴滚珠丝杠
（2）、导轨加油口
（1）、控制箱
13、电气控制
—9/
MeisterMS‐510
X轴滚珠丝杠（Y、θ轴相同）
柔性联轴节
加油口
10 —
（2）、漏电保护断路器（包含接地）
（1）、摄像头照明
14、光校系统
（2）、信号灯
—10
/
MeisterMS‐510
接地处
照明部
/
10 —