MS-510 维护手册Maintenance Manual-C - 第43页
Meister MS-510 ＜维护部品配置图／Maintenance parts location＞ 轴升降部分 Z 轴升降部分 减震器（前后各1个）项番 N11031 Z轴上升下降花键轴 电机 项番N11025-1 联轴节 项番N11024 传感器 项番N11041 气缸 项番N11002 减震器（前后各1个） 项番 N11015 —4—
Meister MS-510
＜维护部品配置图／Maintenance parts location＞
设备内部维护部品
设备内部维护部品
减震器 项番N98625
压力表
项番
N
05001
-
05
-
04
项番
N
05001
05
04
压力表
项番N05001-05-03
电磁阀单元
电磁阀
项番
05001
06
01
电源开关及压力表单元
调压阀 项番N05001-05-01
电磁阀单元
项番N05001-01-01
电磁阀
项番
05001
-
06
-
01
调压阀 项番N05001-05-02
电源开关 项番N81099
电控比例阀
项番
N
05001
-
07
-
01
—3—
电控比例阀
项番
N
05001
07
01
Meister MS-510
＜维护部品配置图／Maintenance parts location＞
轴升降部分
Z
轴升降部分
减震器（前后各1个）项番 N11031
Z轴上升下降花键轴
电机 项番N11025-1
联轴节 项番N11024
传感器 项番N11041
气缸 项番N11002
减震器（前后各1个）
项番 N11015
—4—
Meister MS-510
＜维护部品配置图／Maintenance parts location＞
作台部分
XYΘ工
作台部分
光电传感器 项番N12064
电机 项番N12058
联轴节
项番
N
12059
联轴节
项番
N
12059
光电传感器
项番
N
12038
θ轴
光电传感器
项番
N
12038
Y轴
电机 项番N12032
联轴节 项番N12033
轴
电机 项番N12014
联轴节 项番N12015
X
轴
—5—
光电传感器 项番N12020