MS-510 维护手册Maintenance Manual-C - 第52页
罩壳安全检测开关及气压检测 ＜ 传感器配置图 ／ Sensor location ＞ Meister MS-510 罩壳安全检测开关及气压检测 LS093 ＜门打开检测＞ ＜气压检测＞ 附带压力按扭的气压表 LS092 LS093A、B ＜门打开检测＞ —2 —
Meister MS-510
＜传感器配置图／Sensor location＞
各
单元位置配置
各
单元位置配置
刮刀头
滚筒式清洁装置
传入传出导轨
传入传出导轨
摄像头单元
XYΘ工作台
印刷工作台
—1—
Z轴部位（离网）
罩壳安全检测开关及气压检测
＜传感器配置图／Sensor location＞
Meister MS-510
罩壳安全检测开关及气压检测
LS093
＜门打开检测＞
＜气压检测＞
附带压力按扭的气压表
LS092
LS093A、B
＜门打开检测＞
—2—
Z
轴上升下降
（
离网
）
部分
＜传感器配置图／Sensor location＞
Meister MS-510
Z
轴上升下降
（
离网
）
部分
Z轴上升下降花键轴
057
＜Z轴上升位置＞
＜离网上升位置＞
LS091
＜Z轴下降位置＞
LS090
—3—