MS-510 维护手册Maintenance Manual-C - 第53页
Z 轴上升下降 （ 离网 ） 部分 ＜ 传感器配置图 ／ Sensor location ＞ Meister MS-510 Z 轴上升下降 （ 离网 ） 部分 Z 轴上升下降花键轴 057 ＜ Z 轴上升位置 ＞ ＜ 离网上升位置 ＞ LS091 ＜ Z 轴下降位置 ＞ LS090 —3—
罩壳安全检测开关及气压检测
＜传感器配置图／Sensor location＞
Meister MS-510
罩壳安全检测开关及气压检测
LS093
＜门打开检测＞
＜气压检测＞
附带压力按扭的气压表
LS092
LS093A、B
＜门打开检测＞
—2—
Z
轴上升下降
（
离网
）
部分
＜传感器配置图／Sensor location＞
Meister MS-510
Z
轴上升下降
（
离网
）
部分
Z轴上升下降花键轴
057
＜Z轴上升位置＞
＜离网上升位置＞
LS091
＜Z轴下降位置＞
LS090
—3—
XY
θ
工作台部分
＜传感器配置图／Sensor location＞
Meister MS-510
XY
θ
工作台部分
＜
极限
＞
＜原点＞
LSB30
＜极限＞
＜原点＞
LSB40
＜
极限
＞
LSB43
LSB41
＜极限＞
LSB31
＜极限＞
LSB33
θ轴
Y轴
轴
X
轴
LSB45
LSB44
LSB47
＜极限＞
＜原点＞
＜极限＞
—4—